"Физика и техника полупроводников"
Издателям
Вышедшие номера
Влияние конкурирующих стоков на эволюцию профилей распределения имплантируемого в кремний азота: численное моделирование
Качурин Г.А.1, Тысченко И.Е.1, Гадияк Г.В.2
1Институт физики полупроводников им. А.В. Ржанова Сибирского отделения Российской академии наук, Новосибирск, Россия
2Институт вычислительных технологий Сибирского отделения Российской академии наук, Новосибирск, Россия
Поступила в редакцию: 7 августа 1995 г.
Выставление онлайн: 20 октября 1996 г.

Численным моделированием показано, что наблюдающиеся в экспериментах сложные профили распределения имплантируемой примеси обусловлены возникновением нескольких конкурирующих областей захвата подвижных атомов. Такие области расположны вблизи максимумов распределений пробегов и упругих потерь ионов, а также имевшихся изначально стоков. В процессе имплантации относительные роли стоков изменяются, что и приводит к эволюции профилей распределения примеси. Экспериментальные результаты по высокотемпературной имплантации ионов N+ в кремний оказались в хорошем согласии с результатами численного моделирования эволюции профилей при использовании известных данных по поведению азота и дефектов в кремнии.
  • S. Solmi, E. Landi, F. Barrufaldi. J. Appl. Phys., 68, 3250 (1990)
  • H.H. Hosack. Electrochem. Soc. Interface., 2, 51 (1993)
  • Г.А. Качурин, И.Е. Тысченко. Микроэлектроника, 23, 3 (1994)
  • A.-J. Auberton-Nerve, T. Nishimura, Sol. St. Technol., 37, 89 (1994)
  • M.-O. Ruault, F. Fortuna, H. Bernas, O. Kaitsov. Nucl. Instrum. Meth. B, 84, 135 (1994)
  • T. Shimizu-Iwayama, K. Fujita, S. Nakao, K. Saitoh, T. Fujita, N. Itoh. J. Appl. Phys., 75, 7779 (1994)
  • T. Shimizu-Iwayama. Appl. Phys. Lett., 65, 1814 (1994)
  • H.A. Atwater, K.V. Shcheglov, S.S. Wong, K.J. Vahala, R.C. Flagan, M.I. Brongersma, A. Polman. Mater. Res. Soc. Symp. Proc., 316, 409 (1994)
  • S. Reiss, K.-H. Heinig. Nucl. Instrum. Meth. B., 84, 229 (1994)
  • А.М. Мясников, В.И. Ободников, В.Г. Серяпин, Е.Г. Тишковский, Б.И. Фомин, Е.И. Черепов. Письма ЖЭТФ, 60, 96 (1994)
  • Г.А. Качурин, И.Е. Тысченко, С.А. Тийс, А.Е. Плотников. ФТП. 29, 495 (1995)
  • G. Galvagno, A. La Ferla, C. Spinella, F. Priolo, V. Raineri, L. Torrisi, E. Rimini, A. Carnera, A. Gasparotto. J. Appl. Phys., 76, 2070 (1994)
  • G.A. Kachurin, I.E. Tyschenko, V.P. Popov, S.A. Tijs. Phys. St. Sol. (a), 113, K165 (1989)
  • T. Halberg, J.L. Lindstrom. J. Appl. Phys., 72, 5130 (1992)
  • Г.А. Качурин, Г.В. Гадияк, В.И. Шатров, И.Е. Тысченко. ФТП, 26, 1977 (1992)
  • G.F. Cerofolini, S.Bertoni, P. Fumagalli, L. Mada, C. Spaggiari. Phys. Rev. B, 47, 10174 (1993)
  • B. Burton, M.V. Speicht. Phil. Mag. A, 53, 385 (1986)
  • G.V. Gadiyak, D.K. Blaghinin. Compel., 12, 407 (1993)
  • W.-K. Wu, J. Washburn. J. Appl. Phys., 48, 3747 (1977)
  • Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.

    Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.