Вышедшие номера
Управление длиной волны излучения квантовых ям InGaAs/GaAs и лазерных структур на их основе с помощью протонного облучения
Ахлестина С.А.1, Васильев В.К.1, Вихрова О.В.1, Данилов Ю.А.1, Звонков Б.Н.1, Некоркин С.М.1
1Научно-исследовательский физико-технический институт Нижегородского государственного университета им. Н.И. Лобачевского, Нижний Новгород, Россия
Поступила в редакцию: 8 апреля 2010 г.
Выставление онлайн: 20 октября 2010 г.

Исследованы особенности управления длиной волны излучения лазерных гетероструктур с напряженными квантовыми ямами InGaAs/GaAs посредством облучения протонами средних энергий (до 150 кэВ). Установлено, что облучение ионами H+ и последующий термический отжиг при температуре 700oC позволяют уменьшить длину волны излучения квантовых ям. С ростом дозы ионов от 1013 до 1016 см-2 величина изменения длины волны увеличивается до 20 нм. При этом начиная с дозы 1015 см-2 наблюдается значительное уменьшение интенсивности излучения. Определены оптимальные дозы ионов H+ (6·1014 см-2) и температура отжига (700oC) для модифицирования лазерных структур InGaAs/GaAs/InGaP и показано, что в этом случае можно получить сдвиг ~8-10 нм длины волны лазерного излучения с малыми потерями интенсивности при сохранении качества поверхности лазерных структур. Наблюдаемый "синий" сдвиг обусловлен стимулированными имплантацией процессами перемешивания атомов Ga и In на границах раздела InGaAs/GaAs.
  1. H.H. Tan, J.S. Williams, C. Jagadish, P.T. Burke, M. Gal. Appl. Phys. Lett., 68, 2401 (1996)
  2. H.H. Tan, C. Jagadish. Appl. Phys. Lett., 71, 2680 (1997)
  3. P.J. Poole, S. Charbonneau, G.C. Aers, T.E. Jackman, M. Buchanan, M. Dion, R.D. Goldberg, I.V. Mitchell. J. Appl. Phys., 78, 2367 (1995)
  4. L. Fu, H.H. Tan, M.B. Johnston, M. Gal, C. Jagadish. J. Appl. Phys., 85, 6786 (1999)
  5. B.N. Zvonkov, A.A. Biryukov, A.V. Ershov, S.M. Nekorkin, V.Ya. Aleshkin, V.I. Gavrilenko, A.A. Dubinov, K.V. Maremyanin, S.V. Morozov, A.A. Belyanin, V.V. Kocharovsky, Vl.V. Kocharovsky. Appl. Phys. Lett., 92, 021 122 (2008)
  6. В.Я. Алешкин, А.А. Афоненко, А.А. Дубинов. ЖТФ, 76 (9), 98 (2006)
  7. С.А. Ахлестина, В.К. Васильев, О.В. Вихрова, Ю.А. Данилов, Б.Н. Звонков, С.М. Некоркин. Письма ЖФТ, 36 (4), 81 (2010)
  8. J.F. Ziegler, J.P. Biersack, U. Littmark. The stopping and ranges of ions in solids (N.Y., Pergamon Press, 1985)

Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.

Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.