Вышедшие номера
Управление длиной волны излучения квантовых ям InGaAs/GaAs и лазерных структур на их основе с помощью протонного облучения
Ахлестина С.А.1, Васильев В.К.1, Вихрова О.В.1, Данилов Ю.А.1, Звонков Б.Н.1, Некоркин С.М.1
1Научно-исследовательский физико-технический институт Нижегородского государственного университета им. Н.И. Лобачевского, Нижний Новгород, Россия
Поступила в редакцию: 8 апреля 2010 г.
Выставление онлайн: 20 октября 2010 г.

Исследованы особенности управления длиной волны излучения лазерных гетероструктур с напряженными квантовыми ямами InGaAs/GaAs посредством облучения протонами средних энергий (до 150 кэВ). Установлено, что облучение ионами H+ и последующий термический отжиг при температуре 700oC позволяют уменьшить длину волны излучения квантовых ям. С ростом дозы ионов от 1013 до 1016 см-2 величина изменения длины волны увеличивается до 20 нм. При этом начиная с дозы 1015 см-2 наблюдается значительное уменьшение интенсивности излучения. Определены оптимальные дозы ионов H+ (6·1014 см-2) и температура отжига (700oC) для модифицирования лазерных структур InGaAs/GaAs/InGaP и показано, что в этом случае можно получить сдвиг ~8-10 нм длины волны лазерного излучения с малыми потерями интенсивности при сохранении качества поверхности лазерных структур. Наблюдаемый "синий" сдвиг обусловлен стимулированными имплантацией процессами перемешивания атомов Ga и In на границах раздела InGaAs/GaAs.