Управление длиной волны излучения квантовых ям InGaAs/GaAs и лазерных структур на их основе с помощью протонного облучения
Ахлестина С.А.1, Васильев В.К.1, Вихрова О.В.1, Данилов Ю.А.1, Звонков Б.Н.1, Некоркин С.М.1
1Научно-исследовательский физико-технический институт Нижегородского государственного университета им. Н.И. Лобачевского, Нижний Новгород, Россия
Поступила в редакцию: 8 апреля 2010 г.
Выставление онлайн: 20 октября 2010 г.
Исследованы особенности управления длиной волны излучения лазерных гетероструктур с напряженными квантовыми ямами InGaAs/GaAs посредством облучения протонами средних энергий (до 150 кэВ). Установлено, что облучение ионами H+ и последующий термический отжиг при температуре 700oC позволяют уменьшить длину волны излучения квантовых ям. С ростом дозы ионов от 1013 до 1016 см-2 величина изменения длины волны увеличивается до 20 нм. При этом начиная с дозы 1015 см-2 наблюдается значительное уменьшение интенсивности излучения. Определены оптимальные дозы ионов H+ (6·1014 см-2) и температура отжига (700oC) для модифицирования лазерных структур InGaAs/GaAs/InGaP и показано, что в этом случае можно получить сдвиг ~8-10 нм длины волны лазерного излучения с малыми потерями интенсивности при сохранении качества поверхности лазерных структур. Наблюдаемый "синий" сдвиг обусловлен стимулированными имплантацией процессами перемешивания атомов Ga и In на границах раздела InGaAs/GaAs.
- H.H. Tan, J.S. Williams, C. Jagadish, P.T. Burke, M. Gal. Appl. Phys. Lett., 68, 2401 (1996)
- H.H. Tan, C. Jagadish. Appl. Phys. Lett., 71, 2680 (1997)
- P.J. Poole, S. Charbonneau, G.C. Aers, T.E. Jackman, M. Buchanan, M. Dion, R.D. Goldberg, I.V. Mitchell. J. Appl. Phys., 78, 2367 (1995)
- L. Fu, H.H. Tan, M.B. Johnston, M. Gal, C. Jagadish. J. Appl. Phys., 85, 6786 (1999)
- B.N. Zvonkov, A.A. Biryukov, A.V. Ershov, S.M. Nekorkin, V.Ya. Aleshkin, V.I. Gavrilenko, A.A. Dubinov, K.V. Maremyanin, S.V. Morozov, A.A. Belyanin, V.V. Kocharovsky, Vl.V. Kocharovsky. Appl. Phys. Lett., 92, 021 122 (2008)
- В.Я. Алешкин, А.А. Афоненко, А.А. Дубинов. ЖТФ, 76 (9), 98 (2006)
- С.А. Ахлестина, В.К. Васильев, О.В. Вихрова, Ю.А. Данилов, Б.Н. Звонков, С.М. Некоркин. Письма ЖФТ, 36 (4), 81 (2010)
- J.F. Ziegler, J.P. Biersack, U. Littmark. The stopping and ranges of ions in solids (N.Y., Pergamon Press, 1985)
Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.
Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.