In-depth resolution for LBIC technique by two-photon absorption
Wan D.1, Pouget V.1, Douin A.1, Jaulent P.1, Lewis D.1, Fouillat P.1
1IXL, Microelectronics Lab., University Bordeaux 1, Talence, France
Поступила в редакцию: 12 сентября 2006 г.
Выставление онлайн: 19 марта 2007 г.
A detailed study on the in-depth dependence of the laser beam induced current (LBIC) technique by the sub-bandgap two-photon absorption (TPA) has been carried out in this paper. The strong focal dependence mechanism for TPA has been demonstrated by our studies through comparing TPA technique with the traditional single-photon absorption based ones. Dependence of the TPA induced single-event transient response in linear integrated circuits on depth and position is investigated. Our results illustrate an interesting in-depth resolution for TPA technique, which enables three-dimensional imaging of charge collecting volumes through the backside of integrated of integrated circuits. PACS: 63.20.-e, 78.40.Fy, 78.67.De, 85.30.De, 85.35.Be
- E. Ramsay, D.T. Reid. Opt. Commun., 221, 427 (2003)
- D. Mc Morrow, W.T. Lotshaw, J.S. Melinger, S. Buchner, R.L. Pease. IEEE Trans. Nucl. Sci., 49 (6), 3002 (2002)
- V. Pouget, D. Lewis, P. Fouillat. IEEE Trans. Inst. Meas., 53 (4), 1227 (2004)
- J.I. Pankove. Optical processes in semiconductors (N. Y., Dover publ. 1971)
- W. Denk, J. Strickler, W. Webb. Science, 248, 73 (1990)
- C. Xu, W. Denk. Appl. Phys. Lett., 71, 2578 (1997)
- D. Mc Morrow, W.T. Lotshaw, J.S. Melinger, S. Buchner, Y. Boulghassoul, L.W. Massengill, R.L. Pease. IEEE Trans. Nucl. Sci., 50 (6), 2199 (2003)
Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.
Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.
© 2024 Физико-технический институт им. А.Ф. Иоффе Российской академии наук