Оптимизация температурного режима металлорганической газофазной эпитаксии квантовых точек InAs(N) на GaAs(001) с интенсивной фотолюминесценцией вблизи 1.3 мкм
Шашкин В.И.1, Данильцев В.М.1, Дроздов М.Н.1, Дроздов Ю.Н.1, Гапонова Д.М.1, Хрыкин О.И.1, Мурель А.В.1, Востоков Н.В.1, Kim Taek2, Park Yong-Jo2
1Институт физики микроструктур Российской академии наук, Нижний Новгород, Россия
2Photonics Laboratory, Samsung Advanced Institute of Technology, Gyeonggi-do 449-712, Korea
Поступила в редакцию: 28 июля 2005 г.
Выставление онлайн: 19 марта 2006 г.
Исследован рост квантовых точек InAs(N) на GaAs в реакторе металлорганической газофазной эпитаксии (МОГФЭ) пониженного давления. В качестве источника азота использован демитилгидразин. В настоящее время хорошо известно, что температура роста квантовых точек InGaAs должна быть ограничена, чтобы предотвратить нежелательные процессы взаимодиффузии атомов In и Ga, а также переиспарение атомов In. С другой стороны, толстые барьерные слои GaAs должны выращиваться при повышенной температуре из-за сильного влияния температуры роста на оптическое качество структуры. Повышение температуры подложкодержателя на 100 градусов требует прерывания процесса в реакторе МОГФЭ примерно на 2 мин. Момент прерывания процесса для подъема температуры может быть выбран в различных точках процесса: 1 - после квантовых точек, перед покрывающим слоем InGaAs; 2 - внутри процесса роста покрывающего слоя; 3 - между покрывающим слоем и барьерным GaAs; 4 - внутри барьерного слоя GaAs. Показано, что наиболее подходящим для структур с сильной фотолюминесценцией на 1.3 мкм является последний вариант, где тонкая начальная часть барьерного слоя выращивается при пониженной температуре. PACS: 78.55.-m, 81.16.-c
- Н.Н. Леденцов, В.М. Устинов, В.А. Щукин, П.С. Копьев, Ж.И. Алфёров, Д Бимберг. ФТП, 32, 385 (1998)
- Nano-Optoelectronics. Concepts, Physics and Devices, ed. by M. Grundman (Springer Verlag, Berlin, 2002) p. 442
- Semiconductor Quantum Dots. Physics, Spectroscopy and Applications, ed. by Y. Masumoto, T. Takagahara (Springer. Berlin, 2002) p. 486
- А.Р. Ковш, А.Е. Жуков, Н.А. Малеев, С.С. Михрин, В.М. Устинов, А.Ф. Цацульников, М.В. Максимов, Б.В. Воловик, Д.А. Бедарев, Ю.М. Шерняков, Е.Ю. Кондратьева, Н.Н. Леденцов, П.С. Копьев, Ж.И. Алфёров, Д. Бимберг. ФТП, 33, 1020 (1999)
- Б.А. Воловик, А.Ф. Цацульников, Д.А. Бедарев, А.Ю. Егоров, А.Е. Жуков, А.Р. Ковш, Н.Н. Леденцов, М.В. Максимов, Н.А. Малеев, Ю.Г. Мусихин, А.А. Суворова, В.М. Устинов, П.С. Копьев, Ж.И. Алфёров, Д. Бимберг, П. Вернер. ФТП, 33, 990 (1999)
- F. Guffarth, R. Heitz, A. Schliwa, O. Stier, N.N. Ledentsov, A.R. Kovsh, V.M. Ustinov, D. Bimberg. Phys. Rev. B, 64, 085 305 (2001)
- T. Kita, Y. Masuda, T. Mori, O. Wada. Appl. Phys. Lett., 83, 4152 (2003)
- O. Schumann, L. Geelhaar, H. Riechert, H. Cerva, G. Abstreiter. J. Appl. Phys., 96, 2832 (2004)
- T. Hakkarainen, J. Toivonen, H. Koskenvaara, M. Sopanen, H. Lipsanen. J. Phys.: Condens. Matter., 16, S3009 (2004)
- H.Y. Liu, R. Sellers, M. Gutierrez, K.M. Groom, W.M. Soong, M. Hopkinson, J.P.R. David, R. Beanland, T.J. Badcock, D.J. Mowbray, M.S. Skolnick. J. Appl. Phys., 96, 1988 (2004)
- G. Saint-Girons, G. Patriarche, L. Largeau, J. Coelho, A. Mereuta, J.M. Moison, J.M. Gerard, I. Sagnes. Appl. Phys. Lett., 79, 2157 (2001)
- H. Saito, T. Makimoto, N. Kobayashi. J. Cryst. Growth, 195, 416 (1998)
- X.W. Lin, J. Washburn, Z. Liliental-Weber, E.R. Weber. Appl. Phys. Lett., 65, 1677 (1994)
- F. Patella, F. Arciprete, E. Placidi, S. Nufris, M. Fanfoni, A. Sgarlata, D. Schiumarini, A. Balzarotti. Appl. Phys. Lett., 81, 2270 (2002)
- Н.В. Востоков, В.М. Данильцев, Ю.Н. Дроздов, А.В. Мурель, О.И. Хрыкин, В.И. Шашкин. Поверхность. РСНИ, вып. 7, 17 (2000)
- R. Sellin, F. Heinrichsdorff, Ch. Ribbat, M. Grundmann, U.W. Pohl, D. Bimberg. J. Cryst. Growth, 221, 581 (2000)
- G. Saint-Girons, G. Patriarche, L. Largeau, J. Coelho, A. Mereuta, J.M. Gerard, I. Sagnes. J. Cryst. Growth, 235, 89 (2002)
Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.
Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.