Вышедшие номера
Влияние конструкции и условий роста метаморфных гетероструктур In(Ga,Al)As/GaAs на электрофизические параметры двумерного канала In0.75Ga0.25As/InAlAs
Чернов М.Ю.1, Соловьев В.А.1, Дричко И.Л.1, Смирнов И.Ю.1, Иванов С.В.1
1Физико-технический институт им. А.Ф. Иоффе РАН, Санкт-Петербург, Россия
Email: chernov@beam.ioffe.ru
Поступила в редакцию: 7 мая 2024 г.
В окончательной редакции: 12 мая 2024 г.
Принята к печати: 13 мая 2024 г.
Выставление онлайн: 7 июля 2024 г.

Методом молекулярно-пучковой эпитаксии на подложках GaAs получены нелегированные метаморфные структуры с квантовой ямой In0.75Ga0.25As и различной конструкцией барьерных слоев (In,Al)As. Представлены результаты исследований электрофизических параметров таких структур четырехконтактным методом Ван дер Пау и бесконтактным методом, основанным на анализе распространения поверхностных акустических волн вдоль границы раздела пьезоэлектрика LiNbO3 и образца. Увеличение толщины нижнего барьерного слоя (In,Al)As квантовой ямы, а также оптимизация температуры роста и соотношения потоков элементов V и III групп (As4/III) позволили получить концентрацию и подвижность носителей в двумерном канале In0.75Ga0.25As толщиной 30 нм ≤3.4·1011 см-2 и ≥2·10^5 cм^2/(В·с) соответственно, при T=1.7 K. Ключевые слова: молекулярно-пучковая эпитаксия, метаморфные гетероструктуры, метаморфный буферный слой, двумерный электронный канал, InGaAs/InAlAs.