"Физика и техника полупроводников"
Вышедшие номера
XXV Международный симпозиум Нанофизика и наноэлектроника", Нижний Новгород, 9-12 марта 2021 г. Влияние добавки хлорпентафторэтана в составе хлорсодержащей плазмы на скорость и характеристики профиля травления арсенида галлия
Министерство образования и науки Российской Федерации, Стипендия Президента Российской Федерации для молодых ученых и аспирантов, осуществляющих перспективные научные исследования и разработки по приоритетным направлениям модернизации российской экономики, СП-2056.2021.3
Охапкин А.И.1, Краев С.А.1, Архипова Е.А.1, Данильцев В.М.1, Хрыкин О.И.1, Юнин П.А.1, Дроздов М.Н.1
1Институт физики микроструктур Российской академии наук, Нижний Новгород, Россия
Email: andy-ohapkin@yandex.ru, kraev@ipmras.ru, suroveginaka@ipmras.ru, danil@ipmras.ru, khrykin@ipmras.ru, yunin@ipmras.ru, drm@ipm.sci-nnov.ru
Поступила в редакцию: 12 апреля 2021 г.
В окончательной редакции: 19 апреля 2021 г.
Принята к печати: 19 апреля 2021 г.
Выставление онлайн: 9 июля 2021 г.

Изучена зависимость скорости плазмохимического травления и шероховатости поверхности кратера арсенида галлия от концентрации хлорпентафторэтана (C2F5Cl) в смеси с хлором, мощности емкостного разряда и продолжительности процесса. Характеристики кратера травления GaAs исследованы методами интерферометрии белого света и сканирующей электронной микроскопии. Показано, что добавка C2F5Cl в составе хлорсодержащей индуктивно-связанной плазмы приводит к нелинейному изменению скорости травления арсенида галлия со временем, что можно объяснить пассивацией поверхности подложки на начальном этапе продуктами распада фреона. Наряду с этим существенно улучшаются характеристики профиля травления GaAs. Повышение мощности емкостного разряда способствует развитию шероховатости, при этом скорость травления возрастает нелинейно. Ключевые слова: хлорпентафторэтан, плазмохимическое травление, индуктивно-связанная плазма, арсенид галлия.
  1. D.S. Rawal, B.K. Sehgal, R. Muralidharan, H.K. Malik. Plasma Sci. Technol., 13 (2), 223 (2011)
  2. P.B. Vigneron, F. Jointa, N. Isac, R. Colombelli, E. Herth. Microelectron. Eng., 202, 42 (2018)
  3. K. Booker, Y. Osorio Mayon, C. Jones, M. Stocks, A. Blakers. J. Vac. Sci. Technol. B, 38 (1), 012206 (2020)
  4. M.K. Connors, J.J. Plant, K.G. Ray, G.W. Turner. J. Vac. Sci. Technol. B, 31 (2), 021207 (2013)
  5. K. Chen, Jian-Jun He, Ming-Yu Li, R. LaPierre. Chinese Phys. Lett., 29 (3), 036105 (2012)
  6. А.И. Охапкин, П.А. Юнин, М.Н. Дроздов, С.А. Краев, Е.В. Скороходов, В.И. Шашкин. ФТП, 52 (11), 1362 (2018)

Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.

Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.