XXV Международный симпозиум Нанофизика и наноэлектроника", Нижний Новгород, 9-12 марта 2021 г. Влияние добавки хлорпентафторэтана в составе хлорсодержащей плазмы на скорость и характеристики профиля травления арсенида галлия
Министерство образования и науки Российской Федерации, Стипендия Президента Российской Федерации для молодых ученых и аспирантов, осуществляющих перспективные научные исследования и разработки по приоритетным направлениям модернизации российской экономики, СП-2056.2021.3
Охапкин А.И.1, Краев С.А.1, Архипова Е.А.1, Данильцев В.М.1, Хрыкин О.И.1, Юнин П.А.1, Дроздов М.Н.1
1Институт физики микроструктур Российской академии наук, Нижний Новгород, Россия
Email: andy-ohapkin@yandex.ru, kraev@ipmras.ru, suroveginaka@ipmras.ru, danil@ipmras.ru, khrykin@ipmras.ru, yunin@ipmras.ru, drm@ipm.sci-nnov.ru
Поступила в редакцию: 12 апреля 2021 г.
В окончательной редакции: 19 апреля 2021 г.
Принята к печати: 19 апреля 2021 г.
Выставление онлайн: 9 июля 2021 г.
Изучена зависимость скорости плазмохимического травления и шероховатости поверхности кратера арсенида галлия от концентрации хлорпентафторэтана (C2F5Cl) в смеси с хлором, мощности емкостного разряда и продолжительности процесса. Характеристики кратера травления GaAs исследованы методами интерферометрии белого света и сканирующей электронной микроскопии. Показано, что добавка C2F5Cl в составе хлорсодержащей индуктивно-связанной плазмы приводит к нелинейному изменению скорости травления арсенида галлия со временем, что можно объяснить пассивацией поверхности подложки на начальном этапе продуктами распада фреона. Наряду с этим существенно улучшаются характеристики профиля травления GaAs. Повышение мощности емкостного разряда способствует развитию шероховатости, при этом скорость травления возрастает нелинейно. Ключевые слова: хлорпентафторэтан, плазмохимическое травление, индуктивно-связанная плазма, арсенид галлия.
- D.S. Rawal, B.K. Sehgal, R. Muralidharan, H.K. Malik. Plasma Sci. Technol., 13 (2), 223 (2011)
- P.B. Vigneron, F. Jointa, N. Isac, R. Colombelli, E. Herth. Microelectron. Eng., 202, 42 (2018)
- K. Booker, Y. Osorio Mayon, C. Jones, M. Stocks, A. Blakers. J. Vac. Sci. Technol. B, 38 (1), 012206 (2020)
- M.K. Connors, J.J. Plant, K.G. Ray, G.W. Turner. J. Vac. Sci. Technol. B, 31 (2), 021207 (2013)
- K. Chen, Jian-Jun He, Ming-Yu Li, R. LaPierre. Chinese Phys. Lett., 29 (3), 036105 (2012)
- А.И. Охапкин, П.А. Юнин, М.Н. Дроздов, С.А. Краев, Е.В. Скороходов, В.И. Шашкин. ФТП, 52 (11), 1362 (2018)
Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.
Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.
