"Физика и техника полупроводников"
Вышедшие номера
Исследование методом DLTS пластически деформированного германия n-типа после легирования медью
Шевченко С.А.1, Колюбакин А.И.1
1Институт физики твердого тела Российской академии наук, Черноголовка, Московская обл., Россия
Поступила в редакцию: 25 июня 2012 г.
Выставление онлайн: 20 мая 2013 г.

Классический и альтернативный методы релаксационной емкостной спектроскопии использовались для изучения постоянных времен захвата электронов на атомы замещающей меди Cus2- и тепловой эмиссии электронов с атомов Cus3- в пластически деформированном германии n-типа, легированном примесью меди. Определены энергия активации Esigma и величина сечения захвата электронов, энергия третьего акцепторного уровня E3, обусловленного атомами Cus3-, и энтропия ионизации. Отсутствие уширения уровня E3, экспоненциальная кинетика захвата электронов для длительности заполняющего импульса tp≤sssim1 мс, независимость рекомбинационных параметров атомов Cus2-/3- от плотности дислокаций и низкая их концентрация в деформированных образцах позволяют заключить, что спектры DLTS обусловлены атомами Cus2-/3-, расположенными вне цилиндров Рида.
  1. E. Simoen, C. Clayes. Ge-based Technologies: From Materials to Devices (N.Y., Elsevier, 2007)
  2. T. Arguirov, M. Kittler, M. Oehme, N.V. Abrosimov, E. Kasper, J. Schulze. Sol. St. Phenomena, 178--179, 25 (2011)
  3. H.H. Woodbury, W.W. Tyler. Phys. Rev., 105 (1), 84 (1957)
  4. E. Simoen, P. Clauws, M. Lamon, J. Vennik. Semicond. Sci. Technol., 1, 53 (1986)
  5. И.М. Котина, В.В. Курятков, С.Р. Новиков, Т.И. Пирожкова. ФТП, 21 (6), 1039 (1987)
  6. Y. Kamiura, F. Hashimoto. Jpn. J. Appl. Phys., 28 (5), 763 (1989)
  7. F.X. Zach, H. Grimmeiss, E.E. Haller. Mater. Sci. Forum, 83--87, 245 (1992)
  8. Р.И. Глориозова, Л.И. Колесник. ФТП, 27 (4), 545 (1993)
  9. P. Clauws, G. Huylebroeck, E. Simoen, P. Vermaercke, F. De Smet, J. Vennik. Semicond. Sci. Technol., 4, 910 (1989)
  10. В.Г. Алексеева, Н.Г. Жданова, М.С. Каган, С.Г. Калашников, Е.Г. Ландсберг. ФТП, 3 (9), 1410 (1969)
  11. F.H. Baumann, W. Schroter. Phil. Mag. B, 48 (1), 55 (1983)
  12. W. Schroter, J. Kronewitz, U. Gnauert, E. Kiedel, M. Seibt. Phys. Rev. B, 52, 13 726 (1995)
  13. M. Seibt, V.V. Kveder, W. Schroter, O. Voss. Phys. Status Solidi a, 202 (5), 911 (2005)
  14. Е.А. Боброва, Ю.В. Клевков, С.А. Медведев, А.Ф. Плотников. ФТП, 36 (12), 1426 (2002)
  15. S. Shevchenko, A. Tereshchenko. Sol. St. Phenomena, 156--158, 289 (2010)
  16. F.H. Baumann, W. Schroter. Phys. Status Solidi a, 79 (2), K123 (1983)
  17. H. Bracht, N.A. Stolwijk, H. Mehrer. Phys. Rev. B, 43 (8), 14 465 (1991-II)
  18. V.V. Kveder, Yu.A. Ossipyan, W. Schroter, G. Zoth. Phys. Status Solidi a, 72, 701 (1982)
  19. F. Poulin, J.C. Bourgoin. Phys. Rev. B, 26 (12), 6788 (1982)
  20. D.V. Lang. J. Appl. Phys., 45 (4), 3014 (1974)
  21. А.И. Колюбакин, Ю.А. Осипьян, С.А. Шевченко. ЖЭТФ, 77 (9), 975 (1979)
  22. A.G. Tweet. Phys. Rev., 106 (2), 221 (1957).

Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.

Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.