"Физика и техника полупроводников"
Вышедшие номера
Особенности слоев SiO2, синтезированных на кремнии методом молекулярного наслаивания
Переводная версия: 10.1134/S106378262004003X
Барабан А.П. 1, Денисов Е.А. 1, Дмитриев В.А. 1, Дрозд А.В.1, Дрозд В.Е.1, Селиванов А.А.1, Сейсян Р.П.2
1Санкт-Петербургский государственный университет, Санкт-Петербург, Россия
2Физико-технический институт им. А.Ф. Иоффе РАН, Санкт-Петербург, Россия
Email: e.denisov@spbu.ru, vedrozd@mail.ru
Поступила в редакцию: 12 ноября 2019 г.
В окончательной редакции: 18 ноября 2019 г.
Принята к печати: 18 ноября 2019 г.
Выставление онлайн: 20 марта 2020 г.

Проведено сравнение характеристик слоев оксида кремния, полученных различными технологическими способами. Показано, что каталитический способ получения слоев окиси кремния методом молекулярного наслаивания имеет ряд преимуществ. Главными из них являются низкая температура роста, качественная граница раздела с кремниевой подложкой и высокая скорость роста пленок. Исследования методом катодолюминесценции позволили оценить структурное качество слоев оксида кремния, полученных методом молекулярного наслаивания, и подтвердили представления о его возможностях для получения качественных пленок окиси кремния для широкого практического применения. Ключевые слова: молекулярное наслаивание, низкотемпературный синтез, оксид кремния, каталитический синтез, катодолюминесценция, спектральное распределение.
  1. Global Industry Analysis Size Share Growth Trends and Forecast 2016-2024. 8.8514 www.transparencymarketresearch.com/ sample/sample.php?flag 8.8514 =B\&rep\_id=8512
  2. Г.В. Свешникова, С.И. Кольцов, В.Б. Алесковский. ЖПХ, 43, 430 (1970)
  3. В.Е. Дрозд. Автореф. канд. дис. (Л., ЛГУ, 1978)
  4. S.M. George, O. Sneh, A.C. Dillon, M.L. Wise, A.W. Ott. Appl. Surf. Sci., 82, 460 (1994)
  5. O. Sneh, M.L. Wise, A.W. Ott, S.M. George. Surf. Sci., 334, 135 (1995)
  6. А.Л. Егоров, Ю.К. Ежовский. ЖПХ, 57, 738 (1984)
  7. В.А. Тертых, Л.А. Белякова. Химические реакции на поверхности кремнезема (Киев, Наук. думка, 1991)
  8. B.B. Burton, M.P. Boleslawski, A.T. Desombre, S.M. George. Chem. Mater., 20, 7031 (2008)
  9. D. Hausmann, J. Becker, Sh. Wang, R.G. Gordon. Science, 298, 402 (2002)
  10. A.P. Baraban, V.A. Dmitriev, V.E. Drozd, V.A. Prokofiev, S.N. Samarin, E.O. Filatova. J. Appl. Phys., 119, 055307-5 (2016)
  11. А.П. Барабан, А.А. Селиванов, В.А. Дмитриев, А.В. Дрозд, В.Е. Дрозд. Письма ЖТФ, 45 (6), 13 (2019)
  12. A.P. Baraban, S.N. Samarin, V.A. Prokofiev, V.A. Dmitriev, A.A. Selivanov, Y. Petrov. J. Luminesc., 205, 102 (2019)
  13. А.П. Барабан, Д.В. Егоров, Ю.В. Петров, Л.В. Милоглядова. Письма ЖТФ, 30 (2), 1 (2004)
  14. А.П. Барабан, Ю.В. Петров. ФТТ, 48 (5), 909 (2006)
  15. Н.А. Семушкина, В.М. Марахонов, Р.П. Сейсян. ФТП, 10 (3), 490 (1976)
  16. В.З. Куракина, В.М. Марахонов, Р.П. Сейсян. Электрон. техн. Материалы, 11, 113 (1973)

Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.

Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.