Физика и техника полупроводников
Авторам
Вышедшие номера
- 2024
- 2023
- 2022
- 2021
- 2020
- 2019
- 2018
- 2017
- 2016
- 2015
- 2014
- 2013
- 2012
- 2011
- 2010
- 2009
- 2008
- 2007
- 2006
- 2005
- 2004
- 2003
- 2002
- 2001
- 2000
- 1999
- 1998
- 1997
- 1996
- 1995
- 1994
- 1993
- 1992
- 1991
- 1990
- 1989
- 1988
Применение высокочастотной ЭПР спектроскопии для идентификации и разделения позиций азота и ванадия в кристаллах и гетероструктурах карбида кремния
Переводная версия: 10.1134/S1063782620010066 
Российский фонд фундаментальных исследований (РФФИ), 19-52-12058
Германский научно-исследовательский фонд DFG, ICRC TRR160 (Project C7)
1Физико-технический институт им. А.Ф. Иоффе РАН, Санкт-Петербург, Россия 
Email: ivan.ilyin@mail.ioffe.ru
Поступила в редакцию: 2 августа 2019 г.
Выставление онлайн: 20 декабря 2019 г.
Показано преимущество высокочастотной спектроскопии электронного парамагнитного резонанса для идентификации доноров азота и глубокой компенсирующей примеси ванадия в различных кристаллографических позициях кристалла карбида кремния. Измерения были выполнены на спектрометре электронного парамагнитного резонанса нового поколения, работающем как в непрерывном, так и в импульсном режимах на частотах 94 и 130 ГГц в широком интервале магнитных полей (-7-7 Тл) и температур (1.5-300 K) с применением магнитооптического криостата замкнутого цикла (Spectormag PT), высокостабильных генераторов (94 и 130 ГГц) и безрезонаторной системы подачи микроволновой мощности на образец. Ключевые слова: электронный парамагнитный резонанс, электронное спиновое эхо, полупроводники, карбид кремния, донорные примеси.
- M. Yoganathan, A. Gupta , E. Semenas, E. Emorhokpor, C. Martin, T. Kerr, I. Zwieback, A.E. Souzis, T.A. Anderson, C.D. Tanner, J. Chen, D.L. Barrett, R.H. Hopkins, C.J. Johnson, Fei Yan, W.J. Choyke, R.P. Devaty. Mater. Res. Soc. Symp. P, 815, J5.9 (2004)
- M. Bickermann, R. Weingartner, A. Winnacher. J. Cryst. Growth, 254, 390 (2003)
- J. Schneider, H.D. Muller, K. Maier, W. Wilkening, F. Fuchs, A. Dornen, S. Leibenzeder, R. Stein. Appl. Phys. Lett., 56, 1184 (1990)
- K. Maier, H.D. Muller, J. Schneider. Mater. Sci. Forum, 83-87, 1183 (1992)
- K. Maier, J. Schneider, W. Wilkening, A. Leibenzeder, R. Stein. Mater. Sci. Eng. B, 11, 27 (1992)
- H.Mc D. Hobgood, R.C. Glass, G. Augustine, R.H. Hopkins, J. Jenny, M. Skowronski, W.C. Mitchel, M. Roth. Appl. Phys. Lett., 66, 1364 (1995)
- J.R. Jenny, M. Skowronski, W.C. Mitchel, H.M. Hobgood, R.C. Glass, G. Augustine, R.H. Hopkins. J. Appl. Phys., 78, 3839 (1995)
- W.C. Mitchel, W.D. Mitchell, G. Landis, H.E. Smith, Wonwoo Lee, M.E. Zvanut. J. Appl. Phys., 101, 013707 (2007)
- L. Spindlberger, A. Csore, G. Thiering, S. Putz, R. Karhu, J. Ul Hassan, N.T. Son, T. Fromherz, A. Gali, M. Trupke. Phys. Rev. Appl., 12, 014015 (2019)
- Yu.A. Vodakov, E.N. Mokhov, M.G. Ramm, A.D. Roenkov. Krist. Techn., 5, 729 (1979)
- E.I. Radovanova, R.G. Verenchikova, Yu.A. Vodakov. Fiz. Tekhn. Poluprovodn., 17, 1115 (1983) [Sov. Phys. Semicond., 17, 640 (1983)]
- М.В. Музафарова, И.В. Ильин, А.Н. Анисимов, Е.Н. Мохов, В.А. Солтамов, П.Г. Баранов. ФТТ, 58, 2319 (2016)
Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.
Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.
