"Физика и техника полупроводников"
Издателям
Вышедшие номера
Air-oxidation of Nb Nano-Films
Переводная версия: 10.1134/S1063782618050196
Lubenchenko A.V. 1, Batrakov A.A. 1, Ivanov D.A. 1, Lubenchenko O.I. 1, Lashkov I.A.1, Pavolotsky A.B.2, Schleicher B.3, Albert N.3, Nielsch K.3
1National Research University "MPEI", Moscow, Russia
2Chalmers University of Technology, Goteborg, Sweden
3IFW Dresden, Institute for Metallic Materials, Dresden, Germany
Email: LubenchenkoAV@mpei.ru
Выставление онлайн: 19 апреля 2018 г.

X-ray photoelectron spectroscopy (XPS) depth chemical and phase profiling of air-oxidized niobium nanofilms has been performed. It is found that oxide layer thicknesses depend on the initial thickness of the niobium nanofilm. The increase in thickness of the initial Nb nano-layer is due to increase in thickness of an oxidized layer.

Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.

Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.