Вышедшие номера
Электронографическое исследование стадий формирования графеновой пленки при термодеструкции 6H-SiC (000\=1) в вакууме
Котоусова И.С.1, Лебедев С.П.1,2, Лебедев А.А.1,2
1Физико-технический институт им. А.Ф. Иоффе РАН, Санкт-Петербург, Россия
2Университет ИТМО, Санкт-Петербург, Россия
Email: koti@mail.ioffe.ru, shura.lebe@mail.ioffe.ru
Поступила в редакцию: 28 декабря 2015 г.
Выставление онлайн: 19 июня 2016 г.

Проведено электронографическое исследование структуры графеновых слоев, полученных сублимацией на поверхности подложки 6H-SiC (000=1), в зависимости от температуры сублимации и способа предобработки поверхности подложки. Установлено, что применение полирующего сублимационного травления подложки перед термодеструкцией при температуре 1350oC на поверхности подложки приводит к образованию доменов монокристаллического графена с разворотом его кристаллической решетки на 30o относительно решетки SiC и небольшой доли доменов с аморфной структурой. Повышение температуры до 1500oC приводит к частичному образованию в пленке поликристаллической фазы графена с турбостратной структурой при сохранении преимущественной ориентации кристаллитов графена, как при 1350oC. Применение предростового отжига перед термодеструкцией позволяет вырастить графеновую пленку с более упорядоченной и однородной структурой без включений в нее аморфной и поликристаллической составляющих. Преимущественная ориентация доменов графена в пленке остается неизменной.