Вышедшие номера
Применение SiC-триодных структур как детекторов ядерных частиц
Строкан Н.Б.1, Иванов А.М.1, Савкина Н.С.1, Давыдов Д.В.1, Богданова Е.В.1, Лебедев А.А.1
1Физико-технический институт им. А.Ф. Иоффе РАН, Санкт-Петербург, Россия
Поступила в редакцию: 2 августа 2001 г.
Выставление онлайн: 17 февраля 2002 г.

Показана возможность внутреннего усиления сигнала (~ в 100 раз) в детекторах короткопробежных ионов на основе карбида кремния. Детекторы создавались ростом эпитаксиальных слоев p-типа на 6H-SiC n+-подложках. Толщина пленок ~10 мкм, а уровень легирования составлял 2.8·1015 см-3. Барьеры Шоттки формировались на пленках магнетронным распылением Ni. Детекторы имели структуру n-p-n+, их параметры исследовались в режиме "плавающей базы". Использовались alpha-частицы 244Cm с энергией 5.8 МэВ и исследовалось увеличение сигнала (E) с ростом приложенного напряжения (U). Облучаемые структуры эквивалентны фототриоду. Был обнаружен сверхлинейный рост E со значительным (десятки раз) усилением вводимого alpha-частицей неравновесного заряда.