Вышедшие номера
Образование донорных центров при отжиге кремния, имплантированного диспрозием и гольмием
Александров О.В.1, Захарьин А.О.1, Соболев Н.А.2, Шек Е.И.2, Маковийчук М.И.3, Паршин Е.О.3
1Санкт-Петербургский государственный электротехнический университет "ЛЭТИ" им. В.И. Ульянова (Ленина), Санкт-Петербург, Россия
2Физико-технический институт им. А.Ф. Иоффе РАН, Санкт-Петербург, Россия
3Институт микроэлектроники Российской академии наук, Ярославль, Россия
Поступила в редакцию: 9 февраля 1998 г.
Выставление онлайн: 20 августа 1998 г.

Установлено, что имплантация ионов диспрозия и гольмия с энергией 1 МэВ и дозой 1013 см-2 в кремний и последующий отжиг при температурах 600/ 900oC сопровождаются образованием донорных центров. Концентрация донорных центров возрастает при увеличении концентрации кислорода в исходном материале или при дополнительной имплантации кислорода. Одинаковое поведение коэффициента активации и концентрационных профилей донорных центров в зависимости от температуры отжига и концентрации кислорода наблюдалось в Si : Dy и Si : Ho. Результаты указывают, что имеет место образование по крайней мере двух типов донорных центров, содержащих атомы редкоземельных элементов и(или) примеси кислорода.