Иванов А.М.1, Строкан Н.Б.1, Шуман В.Б.1
1Физико-технический институт им. А.Ф. Иоффе РАН, Санкт-Петербург, Россия
Поступила в редакцию: 18 апреля 1997 г.
Выставление онлайн: 17 февраля 1998 г.
p+-n-структуры на Si n-типа проводимости с концентрацией легирующей примеси 1.7·1013-1.2·1014 см-3 облучались alpha-частицами 238Pu. На глубине 20 мкм создавался слой, содержащий радиационные дефекты с концентрацией порядка 3·1013 см-3. Такая плотность дефектов обусловила интенсивный сток неравновесных носителей в режиме инжекции-экстракции при стационарной инжекции, а также при импульсной генерации одиночными частицами. Это позволяет рассматривать поврежденный слой как внесенную в объем плоскость с бесконечной скоростью поверхностной рекомбинации. Радиационные дефекты участвовали также в уменьшении проводимости. При обратном смещении в структуре наблюдаются характерное распределение объемного заряда и, соответственно, зависимость емкости от смещения. Несмотря на наличие формально 3 областей заряда, на кривой емкости проявляются 4 участка. Последнее связано с "дополнительной" ступенью заряда, возникающей в поле контактной разности потенциалов и присущей компенсированным глубокими уровнями полупроводникам.
- С. Зи. Физика полупроводниковых приборов, пер. с англ. под ред. Р.А. Суриса (М., Мир, 1984) т. 1
- J. von Borany, B. Schmidt, R. Grotzschel. Nucl. Instrum. Meth., A 377, 514 (1996)
- J. Martin, E. Haas, K. Raithel. Sol. St. Electron. 9, 83 (1966)
- Л.С. Берман, А.Д. Ременюк, В.Б. Шуман. ФТП, 15, 1155 (1981)
- А.М. Иванов, Н.Б. Строкан, В.Б. Шуман. Письма ЖТФ, 23, 79 (1997)
- А.М. Иванов, И.Н. Ильяшенко, Н.Б. Строкан, Б. Шмидт. ФТП, 29, 543 (1995)
- В.В. Емцев, Т.Б. Машовец, В.В. Михнович. ФТП, 26, 22 (1992)
- Е.М. Вербицкая, В.К. Еремин, А.М. Иванов, Н.Б. Строкан. ФТП, 27, 205 (1993)
- Н.В. Кузнецов, В.Н. Филатов, В.Г. Виноградова. ФТП, 21, 609 (1987)
- В.С. Вавилов, В.Ф. Киселев, Б.Н. Мукашев. Дефекты в кремнии и на его поверхности (М., Наука, 1990)
- A. Hallen, N. Keskitalo, F. Masszi, V. Nagl. J. Appl. Phys., 79, 3906 (1996)
- P.V. Kuchinskii, V.M. Lomako. Sol. St. Electron., 29, 1041 (1986)
- Л.С. Берман, А.А. Лебедев. Емкостная спектроскопия глубоких центров в полупроводниках (Л., Наука, 1981)
- С.М. Рывкин, Л.Л. Маковский, Н.Б. Строкан, А.Х. Хусаинов. ФТП, 3, 1434 (1969)
- Л.Л. Маковский, С.М. Рывкин, Н.Б. Строкан, В.П. Субашева, А.Х. Хусаинов. В сб.: Физика электронно-дырочных переходов и полупроводниковых приборов (Л., Наука, 1969)
- Ю.Н. Носов. Физические основы работы полупроводникового диода в импульсном режиме (М., Наука, 1968)
- M. Byczkowski, J.R. Madigan. J. Appl. Phys., 28, 878 (1957)
- L.L. Makovsky, N.B. Strokan, N.I. Tisnek. IEEE Trans. Nucl., Ser. 15, 304 (1968)
Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.
Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.