Вышедшие номера
Свойства p+-n-структур с заглубленным слоем радиационных дефектов
Иванов А.М.1, Строкан Н.Б.1, Шуман В.Б.1
1Физико-технический институт им. А.Ф. Иоффе РАН, Санкт-Петербург, Россия
Поступила в редакцию: 18 апреля 1997 г.
Выставление онлайн: 17 февраля 1998 г.

p+-n-структуры на Si n-типа проводимости с концентрацией легирующей примеси 1.7·1013-1.2·1014 см-3 облучались alpha-частицами 238Pu. На глубине 20 мкм создавался слой, содержащий радиационные дефекты с концентрацией порядка 3·1013 см-3. Такая плотность дефектов обусловила интенсивный сток неравновесных носителей в режиме инжекции-экстракции при стационарной инжекции, а также при импульсной генерации одиночными частицами. Это позволяет рассматривать поврежденный слой как внесенную в объем плоскость с бесконечной скоростью поверхностной рекомбинации. Радиационные дефекты участвовали также в уменьшении проводимости. При обратном смещении в структуре наблюдаются характерное распределение объемного заряда и, соответственно, зависимость емкости от смещения. Несмотря на наличие формально 3 областей заряда, на кривой емкости проявляются 4 участка. Последнее связано с "дополнительной" ступенью заряда, возникающей в поле контактной разности потенциалов и присущей компенсированным глубокими уровнями полупроводникам.