"Физика и техника полупроводников"
Вышедшие номера
Сверхмелкие p+-n-переходы в кремнии (100): электронно-лучевая диагностика приповерхностной области
Андронов А.Н.1, Баграев Н.Т.2, Клячкин Л.Е.2, Робозеров С.В.1
1Санкт-Петербургский государственный технический университет, Санкт-Петербург, Россия
2Физико-технический институт им. А.Ф. Иоффе РАН, Санкт-Петербург, Россия
Поступила в редакцию: 19 февраля 1997 г.
Выставление онлайн: 20 января 1998 г.

Электронно-лучевая диагностика зондирования приповерхностной области электронами малых и средних энергий используется для анализа сверхмелких p+-n-переходов в кремнии (100), которые создаются в условиях неравнавесной примесной диффузии. Исследуется энергетическая зависимость коэффициента радиационной проводимости, а также его распределение по площади p+-n-перехода. Данная методика позволяет определить распределение по глубине кристалла вероятности разделения электронно-дырочных пар полем p-n-перехода, которое, как показывают результаты эксперимента, является различным для p+-n-переходов, полученных при доминировании kick-out и диссоциативного вакансионного механизмов примесной диффузии, лежащих в основе получения сверхмелких p-n-переходов. Кроме того, впервые представляются разультаты исследований распределения вторичных точечных центров, которые образуются вблизи границы сверхмелкого диффузионного профиля и в значительной степени влияют на транспорт неравновесных носителей. Полученные данные демонстрируют возможности повышения эффективности повышения фотоприемников, детекторов alpha-частиц и солнечных батарей, создаваемых на основе сверхмелких p-n-переходов.
  1. Н.Т. Баграев, Л.Е. Клячкин, В.Л. Суханов. Письма ЖТФ, 17, 42 (1991)
  2. N.T. Bagraev, L.E. Klyachkin, V.L. Sukhanov. Semicond. Sci. Technol., 6, 577 (1991)
  3. N.T. Bagraev, L.E. Klyachkin, V.L. Sukhanov. Def.Dif. Forum, 103--105, 192 (1993)
  4. N.T. Bagraev, L.E. Klyachkin, A.M. Malyarenko, V.L. Sukhanov. Sol. St. Electron., 34, 1149 (1991)
  5. W. Frank, U. Gosele, H. Mehrer, A. Seeger. Diffusion in Crystalline Solids (Academic Press, 1984) p. 63
  6. R.B. Fair. Diff. and Defect Data, 37, 1 (1984)
  7. А.Н. Андронов, Н.Т. Баграев, Л.Е. Клячкин, С.В. Робозеров, Н.С. Фараджев. ФТП, 28, 2049 (1994)
  8. Н.Т. Баграев. Л.Е. Клячкин, Е.И. Чайкина. Письма ЖЭТФ, 58, 620 (1993)
  9. Е.Н. Пятышев, Д.В. Кузичев. Измер. техника, 9, 3 (1991)
  10. E. Antoncik. J. Electrochem. Soc., 141, 3593 (1994)
  11. N.T. Bagraev, I.S. Polovtsev, K. Schmalz. Phys. St. Sol. (a), 113, 233 (1989)
  12. K. Schmalz, F.-G. Kirscht, H. Klose, H. Richter, K. Tittelbach-Helmrich. Phys. St. Sol. (a), 100, 567 (1987)
  13. N.T. Bagraev, S.N. Gorin, V.V. Vysotskaya, Yu.A. Sidorov. J. Physique (France) III, 1, 733 (1990)
  14. Н.Т. Баграев, Л.Е. Клячкин, А.М. Маляренко, И.С. Половцев, В.Л. Суханов. ФТП, 24, 1557 (1990)
  15. Р.М. Амальская, Н.Т. Баграев, Л.Е. Клячкин, В.Л. Суханов. ФТП, 26, 1004 (1992)
  16. S. Mizho, H. Higuchi. Japan. J. Appl. Phys., 20, 739 (1981)
  17. W.K. Tice, T.Y. Tan. Appl. Phys. Lett., 28, 564 (1976)

Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.

Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.