"Физика и техника полупроводников"
Издателям
Вышедшие номера
Комплексное исследование условий получения гидрированных аморфных пленок субоксида кремния, легированного эрбием и кислородом, a-SiOx:H<Er,O>, с помощью dc-магнетрона
Ундалов Ю.К.1, Теруков Е.И.1, Гусев О.Б.1, Лебедев В.М.2, Трапезникова И.Н.1
1Физико-технический институт им. А.Ф. Иоффе РАН, Санкт-Петербург, Россия
2Петербургский институт ядерной физики им. Б.П. Константинова Российской академии наук, Гатчина, Россия
Поступила в редакцию: 19 мая 2011 г.
Выставление онлайн: 21 ноября 2011 г.

Приведены результаты комплексного исследования условий получения пленок a-SiOx:H<Er,O>. Изучено влияние состава различных эрбийсодержащих мишененй (a-SiOx:H<Er,O>, ErOx, Er2SiO5, Er2O3 и Er), температуры подложки и температуры отжига в аргоне, на воздухе и в условиях горения SiH4+Ar+O2-плазмы. С целью получения пленок a-SiOx:H<Er,O> с наибольшей интенсивностью фотолюминесценции ионов эрбия рекомендовано использовать следующие технологические условия: подложкодержатель должен быть изолирован от электродов dc-магнетрона, состав рабочей газовой смеси должен включать силан, аргон и кислород. В качестве мишеней следует использовать монокристаллический кремний и металлический эрбий. Эрбиевая мишень должна находиться только в зоне эрозии Si-мишени.
  • М.С. Бреслер, О.Б. Гусев, П.Е. Пак, И.Н. Ясиевич, Т. Грегоркевич. Изв. АН. Сер. физ., 66, 276 (2002)
  • D.L. Adler, D.C. Jacobson, D.J. Eaglesham, M.A. Marcus, J.L. Benton, J.M. Poate, P.H. Citrin. Appl. Phys. Lett., 61, 2181 (1992)
  • L.R. Tessler, A.C. Iniguez. J. Non-Cryst. Sol., 266--269, 603 (2000)
  • A.R. Zanatta, L.A.O. Nunes, L.R. Tessler. Appl. Phys. Lett., 70, 511 (1997)
  • C. Piamonteze, A.C. Iniguez, L.R. Tessler, M.C.M. Alves, H. Tolentino. Phys. Rev. Lett., 81, 4652 (1998)
  • Ю.К. Ундалов, Е.И. Теруков, О.Б. Гусев, В.М. Лебедев, И.Н. Трапезникова. ФТП, 42, 1357 (2008)
  • A. Janotta, M. Schmidt, R. Janssen, M. Stutzmann. Phys. Rev. B, 68, 165 207 (2003)
  • М.С. Бреслер, О.Б. Гусев, Е.И. Теруков, Ю.К. Ундалов, Н.А. Селюженок. ФТТ, 50, 1664 (2008)
  • I.N. Yassievich, M.S. Bresler, O.B. Gusev. J. Phys. C, 9, 9415 (1997)
  • М.С. Бреслер, Т. Грегоркевич, О.Б. Гусев, Н.А. Соболев, Е.И. Теруков, И.Н. Яссиевич, Б.П. Захарченя. ФТТ, 41, 851 (1999)
  • E.I. Terukov, Yu.K. Undalov, V.Kh. Kudoyarova, K.V. Koughia, J.P. Kleider, M.E. Gueunier, R. Meaudre. J. Non-Cryst. Sol., 299--302, 699 (2002)
  • C. Piamonteze, L.R. Tessler, H. Tolentino, M. do C.M. Alves, G. Weiser, E. Terukov. Mater. Res. Soc. Symp. Proc., 609, A 11.2.1 (2000)
  • V. Petkova, H.P. Zeindl, J. Herion, W. Beyer. J. Non-Cryst. Sol., 97/98, pt 2, 807 (1987)
  • А.А. Андреев, В.Б. Воронков, В.Г. Голубев, А.В. Медведев, А.Б. Певцов. ФТП, 33, 106 (1999)
  • А.И. Машин, А.Ф. Хохлов. ФТП, 33, 1001 (1999)
  • А.И. Машин, А.Ф. Хохлов, А.Г. Разуваева, С.К. Игнатов, А.А. Щепалов. ФТП, 33, 1253 (1999)
  • J.I. Pankov, D.E. Carison. Appl. Phys. Lett., 31 , 450 (1977)
  • R.A. Street, M. Hack, W.B. Jackson. Phys. Rev. B, 37, 4209 (1988)
  • R.A. Street, K. Winer. Phys. Rev. B, 40, 6236 (1989)
  • O. Gusev, E.I. Terukov, K. Tsendin, Yu. Undalov, S. Minissale, T. Gregorkiewicz. Physica B, 404, 5102 (2009)
  • H. Isshiki, M.J.A. de Dood, A. Polman, T. Kimura. Appl. Phys. Lett., 85, 4343 (2004)
  • K. Suh, J.H. Shin, S.-J. Seo, B.-S. Bae. Appl. Phys. Lett., 89, 223 102 (2006)
  • M. Miritello, R. Lo Savio, A.M. Piro, G. Franzo, F. Priolo, F. Icona, C. Bongiomo. J. Appl. Phys., 100, 013 502 (2006)
  • S. Chen, Y. Zhu, R. Wu, Y. Wu, Y. Fan, Z. Jiang. J. Appl. Phys., 101, 064 106 (2007)
  • V. Mikhelashvili, G. Eisenstein, F. Edelman, R. Brener, N. Zakharov, P. Werner. J. Appl. Phys., 95, 613 (2004)
  • W. Beyer. J. Non-Cryst. Sol., 266--269, pt 2, 845 (2000)
  • R. Walkup, Ph. Avouris, R.W. Dreyfus, J.M. Jasinski, G.S. Salwyn. Appl. Phys. Lett., 45, 372 (1984)
  • E. Carison, C.W. Wages. Appl. Phys. Lett., 33, 81 (1978)
  • A. Janotta, R. Janssen, M. Schmidt, T. Graf, L. Gorgens, C. Hammer, B. Stritzker, M. Stutzman. J. Non-Cryst. Sol., 299--302, pt A, 579 (2002)
  • И.П. Лисовский, И.З. Индутный, Б.Н. Гненный, П.М. Литвин, Д.О. Мазунов, А.С. Оберемок, Н.В. Сопинский, П.Е. Шепелявый. ФТП, 37, 98 (2003)
  • U.K. Das, T. Yasuda, S. Yamasaki. Phys. Rev. Lett., 85, 2324 (2000)
  • S. Yamusaki, U.K. Das, K. Ishikawa. Thin Sol. Films, 407, 139 (2002).
  • Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.

    Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.