"Физика и техника полупроводников"
Издателям
Вышедшие номера
Перераспределение компонентов в системе ниобий-кремний при высокотемпературном протонном облучении
Афонин Н.Н.1, Логачева В.А.1, Ховив А.М.1
1Воронежский государственный университет, Воронеж, Россия
Поступила в редакцию: 17 мая 2011 г.
Выставление онлайн: 20 ноября 2011 г.

Исследовано перераспределение компонентов в системе ниобий-кремний в процессе магнетронного распыления ниобия, вакуумного отжига и высокотемпературного протонного облучения. Установлено, что в ходе магнетронного распыления и последующего вакуумного отжига кремний проникает через пленку металла на ее внешнюю границу. При высокотемпературном протонном облучении наблюдается подавление диффузии ниобия в кремний, что объясняется наличием высокой концентрации радиационных вакансий в области межфазной границы Nb/Si.
  • M. Zhang, W. Yu, W.K. Wang. J. Mater. Sci. Lett., 16, 241 (1997)
  • T. Nakanishi, M. Takeyama, A. Noya. J. Appl. Phys., 77 (2), 948 (1995)
  • Н.Н. Афонин, В.А. Логачева, А.М. Ховив и др. Неорганические материалы, 45 (9), 1074 (2009)
  • M. Zhang, W. Yu, W.H. Wang et al. J. Appl. Phys., 80 (3), 1422 (1996)
  • T.P. Chow, K. Hamzeh, A.J. Stecki. J. Appl. Phys., 54 (5), 2716 (1983)
  • E. Horache, J.E. Fisher, J. Van der Spiegel. J. Appl. Phys. 68 (9), 4652 (1990)
  • В.П. Пугачевич, Ю.Д. Чистяков, С.П. Тимошенков. Физика металлов и металловедение, 54 (3), 449 (1982)
  • Тонкие пленки. Взаимная диффузия и реакции, под ред. Дж . Поута, К. Ту, Дж. Мейера (М., Мир, 1982). [Пер. с англ.: Thin Films - Interdiffusion and Reactions, ed. by J.M. Poate, K.N. Tu and J.W. Mayer (N.Y., John Wiley\&Sons, 1978)]
  • N. Suresh, Rachana Thakur, D.M. Phase, S.M. Chaudhari. J. Appl. Phys., 87, 7946 (2000)
  • В.В. Козловский, П.А. Иванов, Д.С. Румянцев и др. ФТП, 38 (7), 778 (2004)
  • О.В. Александров, В.В. Козловский. ФТП, 43 (7), 917 (2009)
  • Б.С. Данилин, В.К. Сырчин. Магнетронные распылительные системы (М., Радио и связь, 1982) с.72
  • В.М. Вахтель, Н.Н. Афонин, В.А. Логачева и др. Завод. лаб. Диагностика материалов, 74 (7), 33 (2008)
  • Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.

    Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.