"Физика и техника полупроводников"
Издателям
Вышедшие номера
Модификация электрических и оптических свойств пленок ZnO под действием ультрафиолетового излучения
Грузинцев А.Н.1, Волков В.Т.1
1Институт проблем технологии микроэлектроники Российской академии наук, Черноголовка, Россия
Поступила в редакцию: 12 апреля 2011 г.
Выставление онлайн: 20 октября 2011 г.

Исследовано влияние ультрафиолетового облучения поликристаллических пленок оксида цинка (толщина 200 нм) на их электрическое сопротивление, прозрачность и люминесценцию в видимой и фиолетовой области спектра. Показано, что проводимость, прозрачность и краевая люминесценция пленок увеличиваются при облучении на воздухе и в вакууме с характерными временами порядка 100 мин. Установлена обратимость данных процессов, обусловленных десорбцией атомов и молекул кислорода с поверхности нанокристаллов пленки ZnO.
  • M.H. Huang, F. Henning, Y. Haoquan, Y. Wu, H. Kind, E. Weber, R. Russo, P. Yang. Science, 292, 1897 (2001)
  • P. Yang, H. Yan, S. Mao, R. Russo, J. Johnson, R. Saykally, N. Morris. Adv. Funct. Mater. 12, 323 (2002)
  • G.C. Yi, C. Wang, W.I. Park. Semicond. Sci. Technol., 25, S22 (2005)
  • S. Achour, A. Harabi, N. Tabet. Mater. Sci. Eng. B, 42, 284 (1996)
  • R. Xie, T. Sekiguchi, T. Ishigaki, N. Ohashi, D. Li, D. Yang, B. Liu, Y. Bando. Appl. Phys. Lett., 88, 134103 (2006)
  • А.Н. Грузинцев, В.Т. Волков, Е.Е. Якимов, Е.Б. Якимов. Поверхность, 7, 1 (2011)
  • A.N. Gruzintsev, A.N. Red'kin, E.E. Yakimov, E.B. Yakimov. Phys. Status Solidi C, 8 (4), 1403 (2011)
  • O. Lupana, V.V. Ursakic, G. Chaia, L. Chowa, G.A. Emelchenko, I.M. Tiginyanu, A.N. Gruzintsev, A.N. Redkin. Sensors and Actuators B, 144, 56 (2010)
  • Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.

    Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.