"Физика и техника полупроводников"
Издателям
Вышедшие номера
Кинетика роста тонких пленок при зародышевом механизме формирования слоев
Дубровский В.Г.1, Цырлин Г.Э.1
1Физико-технический институт им. А.Ф. Иоффе Российской академии наук, Санкт-Петербург, Россия Институт аналитического приборостроения Российской академии наук, Санкт-Петербург, Россия
Поступила в редакцию: 3 марта 2005 г.
Выставление онлайн: 20 октября 2005 г.

Исследуется кинетическая модель роста тонкой пленки на поверхности твердого тела, справедливая для случая, когда слои формируются в результате двумерного зародышеобразования. В условиях больших пересыщений газообразной фазы получены решения для функции распределения островков по размерам на начальном этапе роста, степени заполнения подложки островками на этапе коалесценции, скорости вертикального роста пленки и шероховатости ее поверхности. Эти решения выражают структурные характеристики растущей пленки через физические константы системы (межфазовая энергия на границе газ--твердое тело, активационные барьеры диффузии и десорбции) и параметры ростового процесса (температура поверхности и скорость осаждения материала). Полученные результаты позволяют проводить расчеты ростовой динамики тонких пленок в конкретных системах.
  • Ж.И. Алфёров. ФТП, 32, 1 (1998)
  • С.А. Кукушкин , А.В. Осипов. УФН, 168, 1083 (1998)
  • А.А. Чернов, Е.И. Гиваргизов, Х.С. Багдасаров, В.А. Кузнецов, Л.Н. Демьянец, А.Н. Лобачев. Современная кристаллография. Т. 3. Образование кристаллов (М., Наука, 1980)
  • A.Y. Cho, J.R. Arthur. Prog. Sol. St. Chem., 10, 157 (1975)
  • A.V. Osipov. Thin Sol. Films, 277, 111 (1993)
  • S.A. Kukushkin, A.V. Osipov. J. Chem. Phys., 107, 3247 (1997)
  • С.А. Кукушкин, А.В. Осипов. ФТТ, 38, 443 (1996)
  • С.А. Кукушкин, В.В. Слезов. Дисперсные системы на поверхности твердых тел (СПб., Наука, 1996)
  • D. Kashchiev. Nucleation: Basic Theory with Applications (Oxford, Butterworth Heinemann, 2000)
  • И.М. Лившиц, В.В. Слезов. ЖЭТФ, 35, 479 (1958)
  • F.M. Kuni. Preprint N 84-178.E (Kiev, Institute of Theoretical Physics, 1984)
  • Ф.М. Куни, А.П. Гринин. Коллоид. журн., 46, 23 (1984)
  • K. Binder. Phys. Rev. B, 15, 4425 (1977)
  • А.Н. Колмогоров. Изв. АН СССР. Сер. мат., 3, 355 (1937)
  • В.З. Беленький. Геометрико-вероятностные модели кристаллизации (М., Наука, 1980)
  • В.И. Трофимов, В.А. Осадченко. Рост и морфология тонких пленок (М., Энергоатомиздат, 1993)
  • V.G. Dubrovskii. Phys. Status Solidi B, 171, 345 (1992)
  • D. Kashchiev. J. Cryst. Growth, 40, 29 (1977)
  • В.Г. Дубровский, Г.Э. Цырлин. ЖТФ, 67, 136 (1997)
  • А.Г. Филаретов, Г.Э. Цырлин. ФТТ, 33, 1329 (1991)
  • Г.Э. Цырлин. Письма ЖТФ, 23 (4), 61 (1997)
  • В.Г. Дубровский, Ю.Г. Мусихин, Г.Э. Цырлин, В.А. Егоров, Н.К. Поляков, Ю.Б. Самсоненко, А.А. Тонких, Н.В. Крыжановская, Н.А. Берт, В.М. Устинов. ФТП, 38, 342 (2004)
  • V.G. Dubrovskii. J. Phys.: Condens. Matter, 16, 6929 (2004)
  • Справочник по специальным функциям, под ред. М. Абрамовица, И. Стиган (М., Наука, 1979)
  • Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.

    Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.