"Физика и техника полупроводников"
Издателям
Вышедшие номера
Формирование и исследование захороненных слоев SiC с высоким содержанием радиационных дефектов
Богданова Е.В.1, Козловский В.В.2, Румянцев Д.С.2, Волкова А.А.1, Лебедев А.А.1
1Физико-технический институт им. А.Ф. Иоффе РАН, Санкт-Петербург, Россия
2Санкт-Петербургский политехнический университет Петра Великого, Санкт-Петербург, Россия
Поступила в редакцию: 1 марта 2004 г.
Выставление онлайн: 19 сентября 2004 г.

Проведена имплантация протонов с энергией E=100 кэВ в диапазоне доз от 2·1017 до 4·1017 см-2 в 6H- и 4H-SiC n-типа проводимости при комнатной температуре. После имплантации выполнены различные типы отжигов в диапазоне температур 550-1500oC. Параметры образцов контролировались методами вольт-фарадных и вольт-амперных характеристик, фотолюминесценции. Обнаружен блистеринг поверхности образцов после отжига при температуре 800oC только при имплантации протонов с дозой =< 3·1017 см-2. Уменьшение сопротивления компенсированного слоя начинается после отжига при температуре ~1200oC и заканчивается после отжига при температуре ~1500oC. После имплантации наблюдается резкое уменьшение интенсивности фотолюминесценции для всех типов образцов. Восстановление интенсивности фотолюминесценции образцов начинается после отжига при температурах >= 800oC и завершается после отжига при температуре 1500oC.
  • В.В. Козловский. Модифицирование полупроводников пучками протонов (СПб., Наука, 2003)
  • В.А. Козлов, В.В. Козловский, А.Н. Титков, М.С. Дунаевский, А.К. Крыжановский. ФТП, 36, 1310 (2002)
  • А.А. Лебедев. ФТП, 33, 129 (1999)
  • Y. Koshka, M. Mazzola. Appl. Phys. Lett., 79, 752 (2001)
  • Y. Koshka, M. Mazzola. Mater. Sci. Forum, 389--393, 609 (2002)
  • C. Hulsen, N. Achtziger, U. Reinlohner, W. Witthuhn. Mater. Sci. Forum, 338--342, 929 (2000)
  • T. Dalibor, G. Pensl, T. Kimoto, W.J. Choyke, A. Schoner, N. Nordell. Phys. Status Solidi A, 162, 199 (1997)
  • A.A. Lebedev, A.I. Veinger, D.V. Davydov, V.V. Kozlovski, N.S. Savkina, A.M. Strel'chuk. J. Appl. Phys., 88, 6265 (2000)
  • А.А. Лебедев, Н.А. Соболев. ФТП, 16, 1874 (1982)
  • Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.

    Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.