"Физика и техника полупроводников"
Вышедшие номера
Модель электрической изоляции GaN и ZnO при бомбардировке легкими ионами
Титов А.И.1, Карасев П.А.1, Кучеев С.О.2
1Санкт-Петербургский государственный политехнический университет, Санкт-Петербург, Россия
2Research School of Physical Sciences and Engineering, The Australian National University, Canberra, ACT, Australia
Поступила в редакцию: 30 января 2004 г.
Выставление онлайн: 19 сентября 2004 г.

Представлена модель формирования электрической изоляции GaN и ZnO под действием облучения быстрыми ионами. В качестве основного процесса, приводящего к снижению концентрации свободных носителей и росту сопротивления, рассматривается образование комплексов, состоящих из атома легирующей примеси и созданного ионным пучком простейшего точечного дефекта. Проведенное сравнение результатов модели и экспериментальных данных по возникновению изоляции, полученных для GaN и ZnO, показывает, что модель способна удовлетворительно описывать происходящие процессы.
  1. S.J. Pearton, J.C. Zolper, R.J. Shul, F. Ren. J. Appl. Phys., 86, 1 (1999)
  2. D.C. Look. Mater. Sci. Eng. B, 80, 383 (2001)
  3. S.J. Pearton, R.G. Wilson, J.M. Zavada, J. Han, R.J. Shul. Appl. Phys. Lett., 73, 1877 (1998)
  4. H. Boudinov, S.O. Kucheyev, J.S. Williams, C. Jagadish, G. Li. Appl. Phys. Lett., 78, 943 (2001)
  5. S.O. Kucheyev, H. Boudinov, J.S. Williams, C. Jagadish, G. Li. J. Appl. Phys., 91, 4117 (2002)
  6. C. Uzan-Saguy, J. Salzman, R. Kalish, V. Richter, U. Tish, S. Zamir, S. Prawer. Appl. Phys. Lett., 74, 2441 (1999)
  7. S.J. Pearton. Mater. Sci. Rep., 4, 313 (1990)
  8. S.O. Kucheyev, J.S. Williams, S.J. Pearton. Mater. Sci. Eng., R. 33, 51 (2001)
  9. A.I. Titov, S.O. Kucheyev. J. Appl. Phys., 92, 5740 (2002)
  10. S.O. Kucheyev, P.N.K. Deenapanray, C. Jagadish, J.S. Williams, M. Yano, K. Koike, S. Sasa, M. Inoue, K. Ogata. Appl. Phys. Lett., 81, 3350 (2002)
  11. S.O. Kucheyev, C. Jagadish, J.S. Williams, P.N.K. Deenapanray, M. Yano, K. Koike, S. Sasa, M. Inoue, K. Ogata. J. Appl. Phys., 93, 2972 (2003)
  12. J.P. Biersack, L.G. Haggmark. Nucl. Instr. a. Meth., 174, 257 (1980)
  13. V.V. Emtsev, V.Yu. Davydov, K.V. Emtsev, D.S. Poloskin, G.A. Oganesyan, V.V. Kozlovskii, E.E. Haller. Phys. Status Solidi C, 0, 601 (2003)
  14. J.M. Meese, D.R. Locker. Sol. St. Commun., 11, 1547 (1972)
  15. D.R. Locker, J.M. Meese. IEEE Trans. Nucl. Sci., 19, 237 (1972)

Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.

Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.