"Физика и техника полупроводников"
Издателям
Вышедшие номера
Топологический размерный эффект в кластерных пленках диоксида олова, полученных методом реактивного распыления
Максименко Л.С.1, Матяш И.Е.1, Мищук О.Н.1, Руденко С.П.1, Сердега Б.К.1
1Институт физики полупроводников им. В.Е. Лашкарева Национальной академии наук Украины Киев, Украина
Поступила в редакцию: 27 августа 2012 г.
Выставление онлайн: 20 июня 2013 г.

В наноразмерных пленках диоксида олова, полученных методом реактивного распыления, исследованы оптические свойства методом внутреннего отражения и техникой модуляционной поляриметрии. Измерены угловые и спектральные характеристики коэффициентов отражения линейно поляризованных излучений Rs2 и Rp2, в которых электрическое поле волны перпендикулярно и параллельно плоскости падения, а также характеристики их физической разности rho = Rs2 - Rp2. Из результатов измерения следует: наличие конечной проводимости пленки за счет легирования приводит к проявлению в них поверхностного плазмонного резонанса; форма спектральных и угловых характеристик параметра rho свидетельствует о кластерной структуре пленки, что согласуется с фазовой топологией по методу атомно-силовой микроскопии; несферическая форма кластеров приводит к расщеплению резонансов и к зависимости их параметров от угла падения, что определяет топологический размерный эффект.
  • М.Л. Дмитрук, О.С. Кондратенко, С.А. Коваленко, I.Б. Мамонтова. Фiзика i хiмiя твердого тiла, 7 (1), 39 (2006)
  • U. Kreibig, M. Vollmer. Optical Properties of Metal Clusters. Springer Series in Materials Science. (Berlin, Springer-Verlag, 1995)
  • Б.Н. Хлебцов, А. Богатырев, Л.А. Дыкман, Н.Г. Хлебцов. Опт. и спектр., 102 (2), 269 (2007)
  • В.В. Болотов, Н.А. Давлеткильдеев, А.А. Коротенко, В.Е. Росликов, Ю.А. Стенькин. ЖТФ, 81 (11), 52 (2011)
  • Г.С. Жданов, М.Н. Либенсон, Г.А. Марциновский. УФН, 168 (7), 801 (1998)
  • D. Dalacu, L. Martinu. J. Opt. Soc. Am. B, 18 (l), 85 (2001)
  • И.O. Mойceeв, A.A. Юшканов, Ю.И. Яламов. Oпт. и спектр., 105 (4), 667 (2008)
  • А.Е. Логунов. Автореф. канд. дис. (2009)
  • M. Born, E. Wolf. Principles of Optics (Cambridge, Cambridge University Press, 1964)
  • Л.И. Бережинский, Л.С. Максименко, И.Е. Матяш, С.П. Руденко, Б.К. Сердега. Опт. и спектр., 105 (2), 281 (2008)
  • В.К. Милославский. Опт. и спектр., 7 (2), 244 (1959)
  • М. Кардона. Модуляционная спектроскопия (М., Мир, 1972)
  • Е.А. Виноградов, Т.А. Лескова, А.П. Рябов. Опт. и спектр., 76 (2), 311 (1994)
  • В.С. Гриневич, Л.С. Максименко, И.Е. Матяш, О.Н. Мищук, С.П. Руденко, Б.К. Сердега, В.А. Смынтына, Л.Н. Филевская. ФТП, 45 (11), 1525 (2011)
  • Д.А. Гринько, Ю.М. Барабаш, Л.С. Максименко, И.Е. Матяш, О.Н. Мищук, С.П. Руденко, Б.К. Сердега. ФТТ, 54 (11), 146 (2012)
  • Н.А. Гиппиус, С.Г. Тиходеев, А. Крист, Й. Куль, Х. Гиссен. ФТТ, 47 (1), 139 (2005)
  • Sarika Singh, B.D. Gupta. Measurement Sci. Technol., 21 (11), 115 202 (2010)
  • S. Schrader, V. Lozovski, A. Tsykhonya. Optics Commun., 282, 3257 (2009)
  • Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.

    Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.