"Физика и техника полупроводников"
Издателям
Вышедшие номера
Статистический анализ топографических АСМ-изображений самоорганизованных квантовых точек
Севрюк В.А.1, Брунков П.Н.1, Шальнев И.В.1, Гуткин А.А.1, Климко Г.В.1, Гронин С.В.1, Сорокин С.В.1, Конников С.Г.1
1Физико-технический институт им. А.Ф. Иоффе РАН, Санкт-Петербург, Россия
Поступила в редакцию: 8 октября 2012 г.
Выставление онлайн: 19 июня 2013 г.

С целью получения статистических данных о размерах квантовых точек используется анализ топографических изображений, полученных методом атомно-силовой микроскопии. В силу неидеальности подложки, содержащей на расстояниях 1--10 мкм перепады высоты величиной порядка размера наночастиц, а также недостаточного разрешения близко расположенных точек из-за конечности радиуса закругления зонда АСМ автоматизация процесса статистического анализа их большого массива требует специальных методик обработки топографических изображений, устраняющих потерю части частиц, возникающую при обычной обработке. В качестве такой методики применена свертка исходной матрицы АСМ изображения со специально подобранной матрицей, позволяющей определить положение каждой наночастицы и затем, используя исходную матрицу, измерить их геометрические параметры. Приведены результаты статистического анализа указанным методом самоорганизованных квантовых точек InAs, сформированных на поверхности эпитаксиального слоя AlGaAs. Показано, что их концентрация, средний размер и полуширина распределения по высоте существенно зависят от потока In и общего объема осажденного InAs, изменяющихся в незначительных пределах.
  • Н.Н. Леденцов, В.М. Устинов, В.А. Щукин, П.С. Копьёв, Ж.И. Алфёров, Д. Бимберг. ФТП, 32, 385 (1998)
  • D. Bimberg, M. Grundmann, N.N. Ledentsov. Quantum Dot Heterostructures (John Wiley \& Sons Ltd., Chichester, 1998)
  • Self-Assembled Quantum Dots, ed. by Z.M. Zhiming (Lecture Notes in Nanoscale Science and Technology, v. 1, Springer, 2008)
  • Quantum Dot Devices, ed. by Z.M. Zhiming (Lecture Notes in Nanoscale Science and Technology, v. 13, Springer, 2012)
  • 8.9114 http://www.brukerafmprobes.com/; http://www.ntmdt-tips.com/
  • J.S. Villarrubia. J. Res. Natl. Inst. Stand. Technol., 102, 425 (1997)
  • Введение в контурный анализ, под ред. Я.А. Фурман. (М., Физматлит, 2003)
  • Р. Гонсалес, Р. Вудс. Цифровая обработка изображений (М., Техносфера, 2005)
  • Б.В. Бардин, В.В. Манойлов, И.В. Чубинский-Надеждин, Е.К. Васильева, И.В. Заруцкий. Научное приборостроение, 20, 88 (2010)
  • D. Marr, E. Hildreth. Proc. Royal Soc. (London) B, Biol. Sci., 207, 187 (1980)
  • Б. Яне. Цифровая обработка изображений (М., Техносфера, 2007)
  • P. Chuklanov, S.A. Ziganshina, A.A. Bukharaev. Surf. Interface Anal., 38, 679 (2006)
  • PELCO AFM Gold Calibration Kit: http://www.tedpella.com/
  • J. Vesenka, S. Manne, R. Giberson, T. Marsh, E. Henderson. Biophysical J., 65, 992 (1993)
  • Г.Э. Цырлин, Н.П. Корнеева, В.Н. Демидов, Н.К. Поляков, В.Н. Петров, Н.Н. Леденцов. ФТП, 31, 1230 (1997)
  • Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.

    Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.