"Физика и техника полупроводников"
Вышедшие номера
Статистический анализ топографических АСМ-изображений самоорганизованных квантовых точек
Севрюк В.А.1, Брунков П.Н.1, Шальнев И.В.1, Гуткин А.А.1, Климко Г.В.1, Гронин С.В.1, Сорокин С.В.1, Конников С.Г.1
1Физико-технический институт им. А.Ф. Иоффе РАН, Санкт-Петербург, Россия
Поступила в редакцию: 8 октября 2012 г.
Выставление онлайн: 19 июня 2013 г.

С целью получения статистических данных о размерах квантовых точек используется анализ топографических изображений, полученных методом атомно-силовой микроскопии. В силу неидеальности подложки, содержащей на расстояниях 1--10 мкм перепады высоты величиной порядка размера наночастиц, а также недостаточного разрешения близко расположенных точек из-за конечности радиуса закругления зонда АСМ автоматизация процесса статистического анализа их большого массива требует специальных методик обработки топографических изображений, устраняющих потерю части частиц, возникающую при обычной обработке. В качестве такой методики применена свертка исходной матрицы АСМ изображения со специально подобранной матрицей, позволяющей определить положение каждой наночастицы и затем, используя исходную матрицу, измерить их геометрические параметры. Приведены результаты статистического анализа указанным методом самоорганизованных квантовых точек InAs, сформированных на поверхности эпитаксиального слоя AlGaAs. Показано, что их концентрация, средний размер и полуширина распределения по высоте существенно зависят от потока In и общего объема осажденного InAs, изменяющихся в незначительных пределах.
  1. Н.Н. Леденцов, В.М. Устинов, В.А. Щукин, П.С. Копьёв, Ж.И. Алфёров, Д. Бимберг. ФТП, 32, 385 (1998)
  2. D. Bimberg, M. Grundmann, N.N. Ledentsov. Quantum Dot Heterostructures (John Wiley \& Sons Ltd., Chichester, 1998)
  3. Self-Assembled Quantum Dots, ed. by Z.M. Zhiming (Lecture Notes in Nanoscale Science and Technology, v. 1, Springer, 2008)
  4. Quantum Dot Devices, ed. by Z.M. Zhiming (Lecture Notes in Nanoscale Science and Technology, v. 13, Springer, 2012)
  5. 8.9114 http://www.brukerafmprobes.com/; http://www.ntmdt-tips.com/
  6. J.S. Villarrubia. J. Res. Natl. Inst. Stand. Technol., 102, 425 (1997)
  7. Введение в контурный анализ, под ред. Я.А. Фурман. (М., Физматлит, 2003)
  8. Р. Гонсалес, Р. Вудс. Цифровая обработка изображений (М., Техносфера, 2005)
  9. Б.В. Бардин, В.В. Манойлов, И.В. Чубинский-Надеждин, Е.К. Васильева, И.В. Заруцкий. Научное приборостроение, 20, 88 (2010)
  10. D. Marr, E. Hildreth. Proc. Royal Soc. (London) B, Biol. Sci., 207, 187 (1980)
  11. Б. Яне. Цифровая обработка изображений (М., Техносфера, 2007)
  12. P. Chuklanov, S.A. Ziganshina, A.A. Bukharaev. Surf. Interface Anal., 38, 679 (2006)
  13. PELCO AFM Gold Calibration Kit: http://www.tedpella.com/
  14. J. Vesenka, S. Manne, R. Giberson, T. Marsh, E. Henderson. Biophysical J., 65, 992 (1993)
  15. Г.Э. Цырлин, Н.П. Корнеева, В.Н. Демидов, Н.К. Поляков, В.Н. Петров, Н.Н. Леденцов. ФТП, 31, 1230 (1997)

Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.

Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.