"Физика и техника полупроводников"
Издателям
Вышедшие номера
Анодное окисление слоев кремний-на-изоляторе, созданных методом водородного переноса
Переводная версия: 10.1134/S1063782619020246
Тысченко И.Е.1, Попов И.В.1, Спесивцев Е.В.1
1Институт физики полупроводников им. А.В. Ржанова Сибирского отделения Российской академии наук, Новосибирск, Россия
Email: tys@isp .nsc.ru
Поступила в редакцию: 14 мая 2018 г.
Выставление онлайн: 20 января 2019 г.

Изучена скорость анодного окисления пленок кремний-на-изоляторе (КНИ), созданных методом водородного переноса, как функция температуры последующего отжига. Установлено, что скорость окисления перенесенных пленок КНИ в 5 раз меньше по сравнению со скоростью окисления образцов монокристаллического объемного кремния. Скорость окисления растет по мере отжига образцов в интервале температур 700-1100oС, а также с глубиной по мере поэтапного удаления анодно-окисленных слоев. Полученные результаты объясняются увеличением эффективности анодного тока и взаимодействия атомов кислорода и кремния соответственно за счет отжига дефектов и выхода водорода из связанного состояния. Обнаружено образование водородных пузырей в приповерхностной области кремния за счет диффузии водорода, высвобождающегося в процессе реакции окисления, к микропорам в слое КНИ.
  • P.F. Schmidt, W. Michel. J. Electrochem. Soc., 104, 230 (1957)
  • K.M. Busen, R. Linsey. Trans. Metall. Soc. AIME., 236, 306 (1966)
  • W. Przyborski, J. Roed, J. Lippert, L. Sarholt-Kristensen. Radiat. Eff., 1, 33 (1969)
  • N.G.E. Johannson, I.W. Meyer. Solid-State Electron., 13, 317 (1970)
  • A. Manara, A. Ostidich, G. Pedroli, G. Restelli. Thin Sol. Films, 8, 359 (1971)
  • В.А. Антонов, Е.В. Спесивцев, И.Е. Тысченко. ФТП, 45, 1121 (2011)
  • G. Mende, G. Kuster. Thin Sol. Films, 35, 215220 (1976)
  • В.П. Попов, И.Е. Тысченко. Патент РФ N 2217842 (Бюл. N 33, 27.11. 2003)
  • J.P. Biersack, L. Haggmark. Nucl. Instrum. Meth., 174, 257 (1980); www.srim.org
  • K. Mitani, U.M. Gosele. Appl. Phys. A, 54, 543 (1992)
  • D.L. Griscom. J. Appl. Phys., 58, 2524 (1985)
  • D.L. Griscom. J. Non-Cryst. Sol., 68, 301 (1984)
  • Н.Н. Герасименко, А.В. Двуреченский, Г.М. Цейтлин. ПТЭ, 5, 254 (1972)
  • Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.

    Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.