"Физика и техника полупроводников"
Вышедшие номера
Анодное окисление слоев кремний-на-изоляторе, созданных методом водородного переноса
Переводная версия: 10.1134/S1063782619020246
Тысченко И.Е.1, Попов И.В.1, Спесивцев Е.В.1
1Институт физики полупроводников им. А.В. Ржанова Сибирского отделения Российской академии наук, Новосибирск, Россия
Email: tys@isp .nsc.ru
Поступила в редакцию: 14 мая 2018 г.
Выставление онлайн: 20 января 2019 г.

Изучена скорость анодного окисления пленок кремний-на-изоляторе (КНИ), созданных методом водородного переноса, как функция температуры последующего отжига. Установлено, что скорость окисления перенесенных пленок КНИ в 5 раз меньше по сравнению со скоростью окисления образцов монокристаллического объемного кремния. Скорость окисления растет по мере отжига образцов в интервале температур 700-1100oС, а также с глубиной по мере поэтапного удаления анодно-окисленных слоев. Полученные результаты объясняются увеличением эффективности анодного тока и взаимодействия атомов кислорода и кремния соответственно за счет отжига дефектов и выхода водорода из связанного состояния. Обнаружено образование водородных пузырей в приповерхностной области кремния за счет диффузии водорода, высвобождающегося в процессе реакции окисления, к микропорам в слое КНИ.
  1. P.F. Schmidt, W. Michel. J. Electrochem. Soc., 104, 230 (1957)
  2. K.M. Busen, R. Linsey. Trans. Metall. Soc. AIME., 236, 306 (1966)
  3. W. Przyborski, J. Roed, J. Lippert, L. Sarholt-Kristensen. Radiat. Eff., 1, 33 (1969)
  4. N.G.E. Johannson, I.W. Meyer. Solid-State Electron., 13, 317 (1970)
  5. A. Manara, A. Ostidich, G. Pedroli, G. Restelli. Thin Sol. Films, 8, 359 (1971)
  6. В.А. Антонов, Е.В. Спесивцев, И.Е. Тысченко. ФТП, 45, 1121 (2011)
  7. G. Mende, G. Kuster. Thin Sol. Films, 35, 215220 (1976)
  8. В.П. Попов, И.Е. Тысченко. Патент РФ N 2217842 (Бюл. N 33, 27.11. 2003)
  9. J.P. Biersack, L. Haggmark. Nucl. Instrum. Meth., 174, 257 (1980); www.srim.org
  10. K. Mitani, U.M. Gosele. Appl. Phys. A, 54, 543 (1992)
  11. D.L. Griscom. J. Appl. Phys., 58, 2524 (1985)
  12. D.L. Griscom. J. Non-Cryst. Sol., 68, 301 (1984)
  13. Н.Н. Герасименко, А.В. Двуреченский, Г.М. Цейтлин. ПТЭ, 5, 254 (1972)

Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.

Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.