"Физика и техника полупроводников"
Издателям
Вышедшие номера
Исследование модифицированной структуры квантового каскадного лазера
Мамутин В.В.1, Малеев Н.А.1, Васильев А.П.1, Ильинская Н.Д.1, Задиранов Ю.М.1, Усикова А.А.1, Яговкина М.А.1, Шерняков Ю.М.1, Устинов В.М.1
1Физико-технический иститут им. А.Ф. Иоффе Российской академии наук, Санкт-Петербург, Россия
Email: mamutin@mail.ru
Поступила в редакцию: 27 апреля 2017 г.
Выставление онлайн: 20 декабря 2017 г.

Исследован процесс получения модифицированной структуры для квантовых каскадных лазеров, включающий в себя выращивание с помощью молекулярно-пучковой эпитаксии, плазменное травление, фотолитографию с применением жидкостного травления и создание специальных контактов для уменьшения потерь в волноводе. Использование специального типа структуры позволяет и без постростового заращивания высокоомным материалом достичь параметров, удовлетворяющих требованиям к гетероструктурам высококачественных квантовых каскадных лазеров при максимальном упрощении всего процесса изготовления. DOI: 10.21883/FTP.2018.01.45332.8630
  • В.В. Мамутин, В.М. Устинов, J. Boetthcher, H. Kuenzel. ФТП, 44, 995 (2010)
  • V.V. Mamutin, V.M. Ustinov, N.D. Ilyinskaya, M.V. Baydakova, B.Y. Ber, D.Y. Kasantsev. J. Phys.: Conf. Ser., 291, \#012008 (2011)
  • A. Tsekoun, R. Go, M. Pushkarsky, M. Razeghi, C.K.N. Patel. PNAS (Proc. of Nat. Acad. of Sci. of USA), 103, 4831 (2006)
  • M. Razeghi, S. Slivken, Y. Bai, B. Gokden, S.R. Darvish. New J. Phys., 11, 125017 (2009)
  • В.В. Мамутин, Н.Д. Ильинская, Б.В. Пушный, Р.В. Левин, Д.А. Бедарев. ФТП, 48, 1132 (2014)
  • R.M. Briggs, C. Frez, C.F. Borgentum, S. Forouhar. Appl. Phys. Lett., 105, 141117 (2014)
  • D. Hofstetter, M. Beck, T. Aellen, J. Faist. Appl. Phys. Lett., 78, 396 (2001)
  • C. Gmachl, F. Capasso, D.L. Sivco, A.Y. Cho. Rep. Prog. Phys., 64, 1533 (2001)
  • А.В. Бабичев, Н.А. Пихтин, И.С. Тарасов, Е.В. Никитина, А.Н. Софронов, Д.А. Фирсов, Л.Е. Воробьев, И.И. Новиков, Л.Я. Карачинский, А.Ю. Егоров. ФТП, 50, 1320 (2016)
  • Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.

    Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.