"Физика и техника полупроводников"
Издателям
Вышедшие номера
Люминесценция дефектов в кремниевых p+-n-переходах
Кузьмин Р.В.1, Баграев Н.Т.1,2, Клячкин Л.Е., Маляренко А.М.1
1Физико-технический институт им. А.Ф. Иоффе РАН, Санкт-Петербург, Россия
2Санкт-Петербургский государственный политехнический университет, Санкт-Петербург, Россия
Поступила в редакцию: 5 марта 2015 г.
Выставление онлайн: 20 августа 2015 г.

Исследуются сверхмелкие p+-n-переходы, полученные в рамках кремниевой планарной технологии, основанной на кратковременной неравновесной диффузии бора из газовой фазы в подложки n-Si (100) после их предварительного окисления и вскрытия окон в SiO2 с помощью электронной литографии и реактивного ионного травления. Измеренные спектры электро- и фотолюминесценции демонстрируют излучение в диапазоне 1-1.6 мкм, что свидетельствует о наличии большой концентрации дефектов, возникающих, вероятно, вследствие аморфизирующего действия ионов на стадии травления.
  1. N. Daldosso, L. Pavesi. Laser \& Photon. Rev., 3, 509 (2009)
  2. L. Pavesi. J. Phys.: Condens. Matter, 15, R1169 (2003)
  3. J.M. Shainline, J. Xu. Laser \& Photon. Rev., 1 (4), 334 (2007)
  4. H. Przybylinska, W. Jantsch, Yu. Suprun-Belevitch, M. Stepikhova, L. Palmetshofer, G. Hendorfer, A. Kozanecki, R.J. Wilson, B.J. Sealy. Phys. Rev. B, 4, 2532 (1996)
  5. V. Kveder, M. Badylevich, E. Steinman, A. Izotov, M. Seibt, W. Schroter. Appl. Phys. Lett., 84, 2106 (2004)
  6. Н.А. Соболев, А.М. Емельянов, В.И. Сахаров, И.Т. Серенков, Е.И. Шек, Д.И. Тетельбаум. ФТП, 41, 555 (2007)
  7. E.O. Sveinbjornsson, J. Weber. Appl. Phys. Lett. 69, 2686 (1996)
  8. M. Kittler, M. Reiche, T. Arguirov, W. Seifert, X. Yu. Phys. Status Solidi A, 203, 802 (2006)
  9. Н.Т. Баграев, Л.Е. Клячкин, Р.В. Кузьмин, А.М. Маляренко, В.А. Машков. ФТП, 46, 289 (2012)
  10. Н.Т. Баграев, Л.Е. Клячкин, Р.В. Кузьмин, А.М. Маляренко, В.А. Машков. ФТП, 47, 1530 (2013)
  11. N.T. Bagraev, W. Gehlhoff, L.E. Klyachkin, A. Naser. Def. Dif. Forum, 143--147, 1003 (1997)
  12. W. Frank, U. Gosele, H. Mehrer, A. Seeger. Diffusion in Crystalline Solids, ed. by G.E. Murch, A.S. Nowick (Academic Press, N. Y., 1984)
  13. N.T. Bagraev, E.I. Chaikina, L.E. Klyachkin, I.I. Markov, W. Gehlhoff. Superlat. Microstruct., 28, 337 (1998)
  14. R.J. Shul, S.J. Pearton. Handbook of Advanced Plasma Processing Techniques (Springer, Berlin, 2000)
  15. Sun Hong-Cheng, Xu Jun, Liu Yu, Mu Wei-Wei, Xu Wei, Li Wei, Chen Kun-Ji. Chinese Phys. Lett., 28, 067 802 (2011)
  16. Н.А. Соболев, А.М. Емельянов, Е.И. Шек, В.И. Вдовин. ФТТ, 46, 39 (2004)
  17. A.A. Shklyaev, Y. Nakamura, F.N. Dultsev, M. Ichikawa. J. Appl. Phys., 105, 063 513 (2009)

Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.

Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.