"Физика и техника полупроводников"
Издателям
Вышедшие номера
Люминесценция дефектов в кремниевых p+-n-переходах
Кузьмин Р.В.1, Баграев Н.Т.1,2, Клячкин Л.Е., Маляренко А.М.1
1Физико-технический институт им. А.Ф. Иоффе РАН, Санкт-Петербург, Россия
2Санкт-Петербургский государственный политехнический университет, Санкт-Петербург, Россия
Поступила в редакцию: 5 марта 2015 г.
Выставление онлайн: 20 августа 2015 г.

Исследуются сверхмелкие p+-n-переходы, полученные в рамках кремниевой планарной технологии, основанной на кратковременной неравновесной диффузии бора из газовой фазы в подложки n-Si (100) после их предварительного окисления и вскрытия окон в SiO2 с помощью электронной литографии и реактивного ионного травления. Измеренные спектры электро- и фотолюминесценции демонстрируют излучение в диапазоне 1-1.6 мкм, что свидетельствует о наличии большой концентрации дефектов, возникающих, вероятно, вследствие аморфизирующего действия ионов на стадии травления.
  • N. Daldosso, L. Pavesi. Laser \& Photon. Rev., 3, 509 (2009)
  • L. Pavesi. J. Phys.: Condens. Matter, 15, R1169 (2003)
  • J.M. Shainline, J. Xu. Laser \& Photon. Rev., 1 (4), 334 (2007)
  • H. Przybylinska, W. Jantsch, Yu. Suprun-Belevitch, M. Stepikhova, L. Palmetshofer, G. Hendorfer, A. Kozanecki, R.J. Wilson, B.J. Sealy. Phys. Rev. B, 4, 2532 (1996)
  • V. Kveder, M. Badylevich, E. Steinman, A. Izotov, M. Seibt, W. Schroter. Appl. Phys. Lett., 84, 2106 (2004)
  • Н.А. Соболев, А.М. Емельянов, В.И. Сахаров, И.Т. Серенков, Е.И. Шек, Д.И. Тетельбаум. ФТП, 41, 555 (2007)
  • E.O. Sveinbjornsson, J. Weber. Appl. Phys. Lett. 69, 2686 (1996)
  • M. Kittler, M. Reiche, T. Arguirov, W. Seifert, X. Yu. Phys. Status Solidi A, 203, 802 (2006)
  • Н.Т. Баграев, Л.Е. Клячкин, Р.В. Кузьмин, А.М. Маляренко, В.А. Машков. ФТП, 46, 289 (2012)
  • Н.Т. Баграев, Л.Е. Клячкин, Р.В. Кузьмин, А.М. Маляренко, В.А. Машков. ФТП, 47, 1530 (2013)
  • N.T. Bagraev, W. Gehlhoff, L.E. Klyachkin, A. Naser. Def. Dif. Forum, 143--147, 1003 (1997)
  • W. Frank, U. Gosele, H. Mehrer, A. Seeger. Diffusion in Crystalline Solids, ed. by G.E. Murch, A.S. Nowick (Academic Press, N. Y., 1984)
  • N.T. Bagraev, E.I. Chaikina, L.E. Klyachkin, I.I. Markov, W. Gehlhoff. Superlat. Microstruct., 28, 337 (1998)
  • R.J. Shul, S.J. Pearton. Handbook of Advanced Plasma Processing Techniques (Springer, Berlin, 2000)
  • Sun Hong-Cheng, Xu Jun, Liu Yu, Mu Wei-Wei, Xu Wei, Li Wei, Chen Kun-Ji. Chinese Phys. Lett., 28, 067 802 (2011)
  • Н.А. Соболев, А.М. Емельянов, Е.И. Шек, В.И. Вдовин. ФТТ, 46, 39 (2004)
  • A.A. Shklyaev, Y. Nakamura, F.N. Dultsev, M. Ichikawa. J. Appl. Phys., 105, 063 513 (2009)
  • Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.

    Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.