"Физика и техника полупроводников"
Издателям
Вышедшие номера
Анизотропный шейпинг макропористого кремния
Астрова Е.В.1, Парфеньева А.В.1, Ли Г.В.1, Жарова Ю.А.1
1Физико-технический институт им. А.Ф. Иоффе РАН, Санкт-Петербург, Россия
Поступила в редакцию: 23 июля 2014 г.
Выставление онлайн: 20 марта 2015 г.

Рассмотрены различные высокоаспектные структуры, которые изготавливаются из макропористого кремния с упорядоченной решеткой путем дополнительной обработки в анизотропных травителях. Определены условия и особенности получения структур со стенками, образованными одним типом медленно травящихся плоскостей: (110) или (100), и зависимость их пористости и удельной внутренней поверхности от толщины стенок. Экспериментально демонстрируются структуры в виде зигзага, сетки и столбиков, изготовленные на основе макропористого кремния с помощью анизотропной обработки в водных растворах KOH.
  • V. Lehmann, H. Foll. J. Electrochem. Soc., 137, 653 (1990)
  • T. Trifonov, M. Gari n, A. Rodri guez, L.F. Marsal, R. Alcubilla. Phys. Status Solidi A, 204, 3237 (2007)
  • H. Foll, J. Carstensen, E. Ossei-Wusu, A. Cojocaru, E. Quiroga-Gonzalez, G. Neumann. J. Electrochem. Soc., 158, А580 (2011)
  • V. Lehmann. Phys. Status Solidi A, 204, 1318 (2007)
  • E. Quiroga-Gonzalez, J. Carstensen, H. Foll. Electrochim. Acta, 101, 93 (2013)
  • Г.В. Ли, Т.Л. Кулова, В.А. Толмачев, А.В. Черниенко, М.А. Баранов, С.И. Павлов, Е.В. Астрова, А.М. Скундин. ФТП, 47, 1288 (2013)
  • H. Wu, Y. Cui. Nano Today, 7, 414 (2012)
  • V. Lehmann. Electrochemistry of Silicon (Weinheim, Wiley-VCH, 2002) chap. 9, p. 183
  • I. Zubel, K. Rola, M. Kramkowska. Sensors Actuators A, 171, 436 (2011)
  • H. Seidel, L. Csepregi, A. Heuberger, H. Baumgortel. J. Electrochem. Soc., 137, 3612 (1990)
  • M. Elwenspoek, H.V. Jansen. Silicon micromachining (Cambridge University Press, Cambridge, 2004) chap. 2, p. 5
  • I. Zubel, M. Kramkowska. Sensors Actuators A, 101, 255 (2002)
  • R. Wind, M. Hines. Surf. Sci., 460, 21 (2000)
  • R. Wind, H. Jones, M. Little, M. Hines. J. Phys. Chem. B, 106, 1557 (2002)
  • D. Resnik, D. Vrtacnik, U. Aljancic, M. Mozek, S. Amon. J. Micromech. Microeng., 5, 1174 (2005)
  • O. Powell, H.B. Harrison. J. Micromech. Microeng., 11, 217 (2001)
  • Ya. Jiang, Q. Huang. Semicond. Sci. Technol., 20, 524 (2005)
  • А.В. Черниенко, Е.В. Астрова, Ю.А. Жарова. Письма ЖТФ, 39, 17 (2013).
  • Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.

    Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.