"Физика и техника полупроводников"
Издателям
Вышедшие номера
Влияние Au и Pt на концентрационное распределение Mn в Si
Куликов Г.С.1, Юсупова Ш.А.1
1Физико-технический институт им. А.Ф. Иоффе РАН, Санкт-Петербург, Россия
Поступила в редакцию: 14 июля 1999 г.
Выставление онлайн: 20 января 2000 г.

С применением радиоактивной методики исследовано влияние диффузии золота и платины из слоя, нанесенного на поверхность кремния, на концентрационное распределение 54Mn в объеме. Данные свидетельствуют об уменьшении концентрации марганца в объеме кремния в результате отжига образцов Si<54Mn> со слоем золота или платины на поверхности.
  • К.П. Абдурахманов, Х.С. Далиев, Г.С. Куликов, Ш.Б. Утамурадова, Ш.А. Юсупова. ФТП, 27, 1222 (1993)
  • Г.С. Куликов, Ю.А. Чичикалюк, Ш.А. Юсупова. ФТП, 29, 469 (1995)
  • Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.

    Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.