"Физика и техника полупроводников"
Издателям
Вышедшие номера
Неравновесная сегрегация фосфора в системе диоксид кремния--кремний
Александров О.В., Афонин Н.Н.
Поступила в редакцию: 5 мая 1997 г.
Выставление онлайн: 20 декабря 1997 г.

Разработана модель диффузионно-сегрегационного перераспределения примеси в системе SiO2--Si при термическом окислении кремния, учитывающая неравновесный характер сегрегации на движущейся межфазной границе. Путем численного анализа эксперименатльных данных определены величина и температурная зависимость коэффициента массопереноса фосфора на межфазной границе SiO2--Si.
  • R.B. Fair. In: "Impurity doping process in silicon", ed. by F.F.Y. Wang (N.Y., North Holland Publishing Co, 1981) p. 315.
  • D.A. Antoniadis, M. Rodoni, R.W. Dutton. J. Electrochem. Soc., 126, 1939 (1979)
  • О.В. Александров, Н.Н. Афонин. Изв. вузов. Физика, N 12, 97 (1990)
  • K. Yagi, K. Oyu, M. Tamura, T. Tokuyama. Appl. Phys. Lett., 35, 275 (1979)
  • И.П. Базаров. Термодинамика (М., Высш. шк., 1983), с. 179
  • А.В. Колосовский. Обзоры по электрон. техн. Сер. Полупроводниковые приборы (М., 1971) вып. 6(288)
  • А.А. Самарский. Теория разностных схем (М., Наука, 1977)
  • А.Ф. Буренков, Ф.Ф. Комаров, М.А. Кумахов, М.М. Темкин. Пространственные распределения энергии, выделенной в каскаде атомных столкновений в твердых телах (М., Энергоиздат, 1985)
  • C.P. Ho, J.D. Plummer, S.E. Hansen, R.W. Dutton. IEEE Trans. Electron. Dev., ED-30, 1438 (1983)
  • О.В. Александров, Н.В. Ашкинадзе, Р.З. Тумаров. ФТТ, 26, 632 (1984)
  • E.A. Taft. J. Electrochem. Soc., 136, 3476 (1989)
  • C.P. Ho, J.D. Plummer, J.D. Meindl, B.E. Deal. J. Electrochem. Soc., 125, 813 (1978)
  • K. Sakamoto, K. Nishi, F. Ichikawa, S. Ushio. J. Appl. Phys., 61, 1553 (1987)
  • О.В. Александров, Н.Н. Афонин. ФТП, 30, 1570 (1996)
  • Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.

    Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.