"Физика и техника полупроводников"
Издателям
Вышедшие номера
Пассивация примесей и радиационных дефектов водородом в кремнии p-типа
Мукашев Б.Н., Токмолдин С.Ж., Тамендаров М.Ф., Абдуллин Х.А., Чихрай Е.В.
Выставление онлайн: 20 мая 1988 г.

Исследовались процессы пассивации бора и радиационных дефектов атомарным водородом в кремнии. Обнаружены полосы ИК поглощения, идентифицированные с Si-Н-колебаниями пассивированного акцепторного центра. Изучено влияние температуры и времени обработки в водородной плазме на процессы пассивации атомов бора и электрофизические свойства n+-p-структур. Показано, что взаимодействие радиационных дефектов с атомами водорода позволяет обратимо управлять их электрической активностью.

Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.

Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.