"Физика и техника полупроводников"
Издателям
Вышедшие номера
О влиянии нейтронного облучения на генерацию термодоноров и преципитацию кислорода в кремнии при 650oC
Неймаш В.Б.1, Помозов Ю.В.1, Шаховцов В.И.1, Кабалдин А.Н.1, Цмоць В.М.1
1Институт физики Национальной академии наук Украины, Киев, Украина
Поступила в редакцию: 17 февраля 1993 г.
Выставление онлайн: 19 сентября 1993 г.

Методами ИК спектроскопии и эффекта Холла исследовано влияние предварительного нейтронного облучения (ПНО) на преципитацию примеси кислорода и генерацию термодоноров (ТД) в монокристаллическом кремнии при 650oC. Показано снижение эффективности влияния ПНО на генерацию ТД и распад твердого раствора кислорода с ростом флюенса. Обнаружено замедление накопления ТД при комбинированном введении дополнительных центров распада радиационной и термической природы. Полученные результаты интерпретируются с учетом аннигиляции радиационных дефектов в ходе ПНО и неоднородного распределения примеси кислорода в исходном Si.

Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.

Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.