"Физика и техника полупроводников"
Издателям
Вышедшие номера
Исследование электрофизических свойств монокристаллов высокоомного кремния n-типа проводимости в широком интервале температур
Глазов В.М.1, Пильдон В.И.1, Зубков А.М.1, Кольцов В.Б.1
1Московский институт электронной техники,, Москва, Россия
Поступила в редакцию: 2 февраля 1993 г.
Выставление онлайн: 19 сентября 1993 г.

В данной работе были исследованы электрофизические свойства (электропроводность и эффект Холла) монокристаллов высокоомного кремния в широком интервале температур (от комнатной до температуры 1300 K), полученные методом бестигельной зонной плавки; а также методом нейтронного трансмутационного легирования. На кривых температурной зависимости постоянной Холла в области температур ~1000 K (область собственной проводимости) был зафиксирован переход от n-типа проводимости к p-типу как для кремния, полученного методом бестигельной зонной плавки, так и для кремния, полученного методом нейтронного трансмутационного легирования. Изменение знака эффекта Холла, наблюдаемое в высокочистых монокристаллах кремния, по нашему мнению, связано со структурными превращениями в кремнии, что подтверждается результатами исследования температурной зависимости относительного удлинения, коэффициента линейного расширения, а также данными дифференциально-термического и рентгеновского анализа. Вероятно, число участков новой фазы с другой кристаллической решеткой (предположительно гексагональной) для этого температурного интервала столь существенно, что приводит к возникновению большого числа положительно заряженных вакансий, наличие которых при определенной температуре и является причиной смены знака проводимости.

Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.

Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.