ФТП, 2004, том 38, выпуск 2

 Содержание  Предыдущая статья  Следующая статья  Поиск  

Легирование магнием в молекулярно-пучковой эпитаксии нитрида галлия из аммиака

А.А.Воробьев , В.В.Кораблев, С.Ю.Карпов *

Санкт-Петербургский государственный технический университет,
195251 Санкт-Петербург, Россия
* Софт-Импакт, а/я 83,
194156 Санкт-Петербург, Россия

(Получена 25 марта 2003 г. Принята к печати 7 июля 2003 г.)

Модель легирования магнием верифицируется для молекулярно-пучковой эпитаксии нитрида галлия с использованием аммиака в качестве источника реактивной компоненты V группы. Хорошее количественное согласие с экспериментом позволяет на основе данной модели сравнить эффективность p-легирования для молекулярно-пучковой эпитаксии из плазмо-активированного азота и аммиака. В последнем случае удается получить большие концентрации Mg в кристалле за счет повышенного V/III отношения в падающих потоках.

 PDF версия (143Kb)   Другие выпуски  Другие журналы   Помощь 
Copyright (C) 2004, Коллектив авторов  Разработано...  webmaster