"Физика и техника полупроводников"
Издателям
Вышедшие номера
Радиационная стойкость SiC и детекторы жестких излучений на его основе О б з о р
Лебедев А.А.1, Иванов А.М.1, Строкан Н.Б.1
1Физико-технический институт им. А.Ф. Иоффе РАН, Санкт-Петербург, Россия
Поступила в редакцию: 5 марта 2003 г.
Выставление онлайн: 20 января 2004 г.

Анализируются полученные к настоящему времени результаты по исследованию радиационной стойкости SiC и разработке детекторов ядерных излучений на его основе. Приведены данные по энергиям ионизации, сечениям захвата и возможной структуре центров, образующихся в SiC под воздействием облучения различными типами частиц. Рассмотрено влияние облучения на концентрацию носителей заряда и рекомбинационные процессы в карбиде кремния. Описание результатов разработки и исследования параметров детекторов проведено в двух аспектах. Во-первых, отражены специфические возможности SiC-детекторов в задачах ядерной физики и техники; приведены типичные примеры использования детекторов. Во-вторых, пояснена связь характеристик детекторов со свойствами исходного материала; описан ряд методов определения конкретных параметров SiC исходя из характеристик детекторов. Сделано заключение, что прогресс последних лет в получении совершенных пленок SiC (разностная концентрация примесей (3·1014-3·1015) см-3, плотность полых каналов --- micropipe-дефектов до 1 см-2) позволил SiC войти в категорию материалов, пригодных для создания современных детекторов. Технологические возможности SiC отнюдь не исчерпаны и, несомненно, уже в ближайшее время будут реализованы различные (в том числе, многоэлементные) конфигурации детекторов.
  1. Вопросы радиационной технологии полупроводников, под ред. Л.С. Смирнова (Новосибирск, Наука, 1980)
  2. Физические процессы в облученных полупроводниках, под ред. Л.С. Смирнова (Новосибирск, Наука, 1977)
  3. J.W. Corbett, J.C. Bourgein. In: Point Defect in Solids (N.Y.--London, Plenium Press, 1975) v. 2, p. 1
  4. B. Hudson, B.E. Sheldon. J. Microsc., 97, 113 (1973)
  5. I.A. Honstvet, R.E. Smallman, P.M. Marquis. Phil. Mag., A41, 201 (1980)
  6. H. Inui, H. Mori, H. Fujita. Phil. Mag., B61, 107 (1990)
  7. W. Jiang, S. Theunthasan, W.J. Weber, R. Grotzschel. Nucl. Instr. Meth. Phys. Res. B, 161--163, 501 (2000)
  8. I. Lazanu, S. Lazanu. Preprint (Elsevier Preprint, 21 April 2002)
  9. V.S. Balandovich, G.N. Violina. Cryst. Lattice Defects Amorphous Mater., 13, 189 (1987)
  10. А.А. Лебедев. ФТП, 33, 129 (1999)
  11. H. Zhang, G. Pensl, P. Glasow, S. Leibenzeder. Ext. Abstr. Electrochem. Soc. Meeting (1989) p. 714
  12. J.P. Doyle, M.O. Adoelfotoh, B.G. Svensson, A. Schoner, N. Nordel. Diamond Relat. Mater., 6, 1388 (1997)
  13. C. Hemmingson, N.T. Son, O. Kordina, E. Janzen, J.L. Lindstrom, S. Savarge, N. Nordel. Mater. Sci. Eng. B, 46, 336 (1997)
  14. C. Hemmingson, N.T. Son, O. Kordina, E. Janzen, J.P. Bergman, J.L. Lindstrom, S. Savarge, N. Nordel. J. Appl. Phys., 81, 6155 (1997)
  15. T. Dalibor, G. Pensl, H. Matsunami, T. Kimoto, W.J. Choyke, A. Schoner, N. Nordel. Phys. St. Sol. (a), 162, 199 (1997)
  16. M. Gong, S. Fung, C.D. Beiling, Zhipu You. J. Appl. Phys., 85, 7604 (1999)
  17. В.С. Балландович. ФТП, 33, 1188 (1999)
  18. I. Pintilie, L. Pintilie, K. Irmscher, B. Thomas. Appl. Phys. Lett., 81, 4841 (2002)
  19. M. Gong, S. Fung, C.D. Beiling, Zhipu You. J. Appl. Phys., 85, 7120 (1999)
  20. H.J. von Bardeleben, J.L. Cantin, L. Henry, M.F. Barthe. Phys. Rev. B, 62, 10 841 (2000)
  21. N.T. Son, B. Magnusson, E. Janzen. Appl. Phys. Lett., 81, 3945 (2002)
  22. В.В. Евстропов, А.М. Стрельчук. ФТП, 30, 92 (1996)
  23. И.М. Павлов, М.И. Иглицын, М.Г. Косагонов, В.Н. Соломатин. ФТП, 9, 1320 (1975)
  24. А.И. Вейнгер, А.А. Лепнева, Г.А. Ломакина, Е.Н. Мохов, В.И. Соколов. ФТП, 18, 1932 (1984)
  25. Р.Н. Кютт, А.А. Лепнева, Г.А. Ломакина, Е.Н. Мохов, А.С. Трегубова, Г.Ф. Юлдашев. ФТТ, 30, 1500 (1988)
  26. А.И. Гирка, В.А. Кулешин, А.Д. Мокрошин, Е.Н. Мохов, С.В. Свирида, А.В. Щукин. ФТП, 23, 790 (1989)
  27. Р.Н. Кютт, А.А. Лепнева, Г.А. Ломакина, Е.Н. Мохов, А.С. Трегубова, М.П. Щеглов, Г.Ф. Юлдашев. ФТТ, 30, 2606 (1988)
  28. V.V. Evstropov, A.M. Strel'chuk, A.L. Syrkin, V.E. Chelnokov. Inst. Phys. Conf. Ser., 137, 589 (1994)
  29. O. Okada, T. Kimura, T. Nakata, M. Watanbe, S. Kanazava, I. Kanno, K. Kamitani, K. Atobe, M.N. Nakagawa. Inst. Phys. Conf. Ser., 142, 469 (1996)
  30. H. Matsunami, T. Kimoto. Mater. Sci. Eng., R20, 125 (1997)
  31. V. Nagesh, J.W. Farmer, R.F. Davis, H.S. Kong. Appl. Phys. Lett., 50, 1138 (1987)
  32. S. Kanazawa, M. Okada, J. Ishil, T. Nozaki, K. Shin, S. Ishihara, I. Kimura. Mater. Sci. Forum, 389--393, 517 (2002)
  33. G.C. Rubicki. J. Appl. Phys., 78, 2996 (1995)
  34. И.В. Ильин, Е.Н. Мохов, П.Г. Баранов. ФТТ, 35, 1409 (2001)
  35. A.A. Lebedev, D.V. Davydov, A.M. Strel'chuk, V.V. Kozlovskii, A.N. Kuznetsov, E.V. Bogdanova. Mater. Sci. Forum, 338--342, 973 (2000)
  36. A.M. Strel'chuk, V.V. Kozlovskii, N.S. Savkina, M.G. Rastegaeva, A.N. Andreev. Mater. Sci. Eng., 61--62, 441 (1999)
  37. A.A. Lebedev, A.M. Strel'chuk, V.V. Kozlovskii, N.S. Savkina, D.V. Davydov, V.V. Soloviev. Mater. Sci. Eng., 61--62, 450 (1999)
  38. А.А. Лебедев, А.И. Вейнгер, Д.В. Давыдов, А.М. Стрельчук, В.В. Козловский, Н.С. Савкина. ФТП, 34, 1058 (2000)
  39. A.A. Lebedev, A.I. Veinger, D.V. Davydov, A.M. Strel'chuk, V.V. Kozlovskii, N.S. Savkina. J. Appl. Phys., 88, 6265 (2000)
  40. М.М. Аникин, А.Н. Андреев, А.А. Лебедев, С.Н. Пятко, М.Г. Рястегаева, Н.С. Савкина, А.М. Стрельчук, А.Л. Сыркин, В.Е. Челноков. ФТП, 25, 328 (1991)
  41. A. Kawasuso, F. Redmann, R. Krause-Rehberg, P. Sperr, Th. Frank, M. Weidner, G. Pensl, H. Itoh. J. Appl. Phys., 90, 3377 (2001)
  42. A. Kawasuso, F. Redmann, R. Krause-Rehberg, P. Sperr, Th. Frank, M. Weidner, G. Pensl, H. Itoh. Mater. Sci. Forum, 353--356, 537 (2001)
  43. M.F. Barthe, P. Desgardin, L. Henry, C. Corbel, D.T. Britton, G. Kogel, S. Sperr, W. Trifftshauser, P. Vicente, L. di Ciocco. Mater. Sci. Forum, 389--393, 493 (2002)
  44. А.А. Лебедев, Д.В. Давыдов, Н.С. Савкина, А.С. Трегубова, М.П. Щеглов, Р. Якимова, М. Суваярви, Е. Янсен. ФТП, 34, 1183 (2000)
  45. A. Kawasuso, F. Redmann, R. Krause-Rehberg, P. Sperr, Th. Frank, M. Weidner, G. Pensl, H. Itoh. J. Appl. Phys., 70, 3950 (2001)
  46. W.C. Mitchel, R. Perrin, J. Goldstein, A. Saxler, M. Roth, S.R. Smith, J.S. Solomon, A.O. Euwarage. J. Appl. Phys., 86, 5040 (1999)
  47. А.И. Вейнгер, В.А. Ильин, Ю.М. Таиров, В.Ф. Цветков. ФТП, 15, 1557 (1981)
  48. D.T. Britton, M.F. Barthe, C. Corbel, A. Hempel, L. Henry, P. Desgardin, W. Bauer-Kugelman, G. Kogel, S. Sperr, W. Trifftshauser. Appl. Phys. Lett., 78, 1234 (2001)
  49. H.J. von Bardeleben, J.L. Cantin, I. Vickridge, G. Battisting. Phys. Rev., 62, 10 126 (2000)
  50. D.V. Davydov, A.A. Lebedev, V.V. Kozlovskii, N.S. Savkina, A.M. Strel'chuk. Physica B, 308--310, 641 (2001)
  51. В.В. Макаров, Н.Н. Петров. ФТТ, 8, 1602 (1966)
  52. В. Макаров. ФТТ, 9, 596 (1967)
  53. Н.В. Кодрау, В.В. Макаров. ФТП, 15, 1408 (1981)
  54. L. Patrick, W.J. Choyke. Phys. Rev. B, 5, 3253 (1972)
  55. В.В. Макаров, Н.Н. Петров. ФТТ, 8, 3393 (1966)
  56. В.В. Макаров. ФТТ, 13, 2357 (1971)
  57. В.М. Гусев, К.Д. Демаков, В.М. Ефимов, В.И. Ионов, М.Г. Косагонов, Н.К. Прокофьев, В.Г. Столярова, Ю.Н. Чекушкин. ФТП, 15, 2430 (1981)
  58. Ю.А. Водаков, Г.А. Ломакина, Е.Н. Мохов, М.Г. Рамм, В.И. Соколов. ФТП, 20, 2153 (1986)
  59. Ю.М. Сулейманов, А.М. Грехов, В.М. Грехов. ФТТ, 25, 1840 (1983)
  60. Ю.А. Водаков, А.И. Гирка, А.О. Константинов, Е.Н. Мохов, А.Д. Роенков, С.В. Свирда, В.В. Семенов, В.И. Соколов, А.В. Шишкин. ФТП, 26, 1857 (1992)
  61. W.J. Choyke. In: NATO ASI Ser. Physics and Chemistry of Carbides, Nitrides and Borides, ed. by R. Freer (Manchester, 1989)
  62. А.Н. Андреев, М.М. Аникин, А.А. Лебедев, Н.К. Полетаев, А.М. Стрельчук, А.Л. Сыркин, В.Е. Челноков. ФТП, 28, 729 (1994)
  63. М.М. Аникин, А.С. Зубрилов, А.А. Лебедев, А.М. Стрельчук, А.Е. Черенков. ФТП, 25, 479 (1991)
  64. А.А. Лебедев, В.В. Козловский, Н.Б. Строкан, Д.В. Давыдов, А.М. Иванов, А.М. Стрельчук. ФТП, 36, 1352 (2002)
  65. B.G. Svensson, A. Hallen, M.K. Linarson, A.Yu. Kuznetsov, M.S. Janson, D. Aberg, J. Osterman, P.O.A. Persson, L. Uultman, L. Storasta, F.U.C. Carlsson, J.P. Bergman, C. Jagadish, E. Morvan. Mater. Sci. Forum, 353--356, 549 (2001)
  66. A. Hallen, A. Henry, P. Pellegrino, B.G. Svensson, D. Aberg. Mater. Sci. Eng., 61--62, 378 (1999)
  67. R.K. Nadella, M.A. Capano. Appl. Phys. Lett., 70, 886 (1997)
  68. V. Nagesh, J.W. Farmer, R.F. Davis, H.S. Kong. Appl. Phys. Lett., 50, 1138 (1987)
  69. J. McGarrity, F. McLean, M. Dealancey, J. Palmour, C. Carter, J. Edmond, R. Oakley. IEEE Trans. Nucl. Sci., 39, 1974 (1992)
  70. H. Itoh, M. Yoshikawa, I. Nashiyama, S. Misawa, H. Okumura, S. Yoshida. Springer Proc. Phys., 56, 143 (1992)
  71. В.С. Вавилов, Н.Ю. Исаев, Б.Н. Мукашев, А.Б. Спицын. ФТП, 6, 1041 (1972)
  72. Ю.В. Булгаков, Т.И. Коломенская. ФТП, 1, 422 (1967)
  73. В.Л. Винецкий, Л.С. Смирнов. ФТП, 5, 176 (1971)
  74. D.V. Davydov, A.A. Lebedev, A.S. Tregubova, V.V. Kozlovskii, A.N. Kuznetsov, E.V. Bogdanova. Mater. Sci. Forum, 338--342, 221 (2000)
  75. А.О. Константинов, В.Н. Кузьмин, Л.С. Лебедев, Д.П. Литвин, А.Г. Остроумов, В.И. Санкин. ЖТФ, 54, 1622 (1984)
  76. А.О. Константинов, Н.С. Константинова, О.И. Коньков, Е.И. Теруков, П.А. Иванов. ФТП, 28, 342 (1994)
  77. П.А. Иванов, О.И. Коньков, В.Н. Пантелеев, Т.П. Самсонова. ФТП, 31, 1404 (1997)
  78. N. Atchtziger, J. Grillenberger, W. Witthuhn, M.K. Linnarsson, J. Janson, B.G. Svensson. Appl. Phys. Lett., 73, 945 (1998)
  79. H. Inui, H. Mori, H. Fujita. Phil. Mag. B, 1, 107 (1990)
  80. А.А. Лепнева, Е.Н. Мохов, В.Г. Одинг, А.С. Трегубова. ФТТ, 33, 2217 (1991)
  81. P. Musumeci, L. Calcagno, M.G. Grimaldi, G. Foti. Nucl. Instr. Meth. Phys. Res. B, 116, 327 (1996)
  82. A. Galeskas, J. Linnros, P. Pirous. Appl. Phys. Lett., 81, 883 (2002)
  83. K. Kojima, T. Ohno, T. Fujimoto, M. Katsuno, N. Ohtani, J. Nishio, T. Suzuki, T. Tanaka, Y. Ishida, T. Takahashi, K. Arai. Appl. Phys. Lett., 81, 2974 (2002)
  84. T.A. Kuhr, J.Q. Liu, H.J. Chung, M. Skowronski, F. Szmulowicz. J. Appl. Phys., 92, 5863 (2002)
  85. R. Okojie, M. Xhang, P. Pirouz, S. Tumakha, G. Jessen. Appl. Phys. Lett., 79, 3056 (2001)
  86. L.J. Brillson, S. Tumakha, G.H. Jessen, R.S. Okojie, M. Zhang, P. Pirouz. Appl. Phys. Lett., 81, 2785 (2002)
  87. Ю.А. Водаков, Г.А. Ломакина, Е.Н. Мохов. ФТТ, 24, 1377 (1982)
  88. E. Oliviero, M.L. David, M.F. Beaufort, J. Nomgaudyte, L. Pranevicius, A. Declemy, J.F. Barbot. J. Appl. Phys., 91, 1179 (2002)
  89. В.А. Козлов, В.В. Козловский, А.Н. Титков, М.С. Дунаевский, А.К. Крыжановский. ФТП, 36, 1310 (2002)
  90. A. Fissel, B. Schroter, U. Kaiser, W. Richter. Appl. Phys. Lett., 77, 2418 (2000)
  91. A.A. Lebedev, A.M. Strelchuk, D.V. Davydov, N.S. Savkina, A.S. Tregubova, A.N. Kuznetsov, V.A. Solov'ev, N.K. Poletaev. Appl. Sci. Surf., 184, 419 (2001)
  92. А.А. Лебедев, А.М. Стрельчук, Н.С. Савкина, Е.В. Богданова, А.С. Трегубова, А.Н. Кузнецов, Л.М. Сорокин. Письма ЖТФ, 28 (23), 78 (2002)
  93. R.V. Babcock, S.L. Ruby, F.D. Schupp, K.H. Sun. Miniature Neutron Detectors. Westinghouse Elec. Corp. Materials Engineering Report No.5711-6600-A (November 1957)
  94. R.V. Babcock, H.C. Chang. International Atomic Energy Agency Symposium Proceedings (1963) v. 1, p. 613
  95. R.V. Babcock. Radiation Damage in SiC. Westinghouse Research and Development Center Document No.64-8C2-432-P1 (October 1964)
  96. В.А. Тихомирова, О.П. Федосеева, Г.Ф. Холуянов. ФТП, 6 (5), 957 (1972)
  97. В.А. Тихомирова, О.П. Федосеева, Г.Ф. Холуянов. Атомная энергия, 34 (2), 122 (1973)
  98. В.А. Тихомирова, О.П. Федосеева, В.В. Большаков. Измер. техника, N 6, 67 (1973)
  99. А.А. Лебедев, Н.С. Савкина, А.М. Иванов, Н.Б. Строкан, Д.В. Давыдов. ФТП, 34 (2), 249 (2000)
  100. A.A. Lebedev, N.S. Savkina, A.M. Ivanov, N.B. Strokan, D.V. Davydov. Mater. Sci. Forum, 338--342, 1447 (2000)
  101. F. Nava, P. Vanni, C. Lanzieri, C. Canali. Nucl. Instr. Meth. A, 437, 354 (1999)
  102. Н.Б. Строкан, А.М. Иванов, М.Е. Бойко, Н.С. Савкина, А.М. Стрельчук, А.А. Лебедев, Р. Якимова. ФТП, 37 (1), 65 (2003)
  103. Ion Implantation. Science and Technology, ed. by J.F. Ziegler (Academic Press. Inc., 1984)
  104. M. Rogalla, K. Runge, A. Soldner-Rembold. Nucl. Phys. B, 78, 516 (1999)
  105. R.A. Logan, A.G. Chynoweth. J. Appl. Phys., 33, 1649 (1962)
  106. В.В. Макаров. ФТП, 9, 1098 (1975)
  107. Н.Б. Строкан. Письма ЖТФ, 24, 44 (1998)
  108. В.К. Еремин, С.Г. Даненгирш, Н.Б. Строкан, Н.И. Тиснек. ФТП, 8, 556 (1974)
  109. F. Nava, P. Vanni, G. Verzellesi, A. Castaldini, A. Cavallini, L. Polenta, R. Nipoti, C. Donolato. Mater. Sci. Forum, 353--356, 757 (2001)
  110. DESSIS-6.0 Reference Manual, ISE Integrated Systems Engineering AG. (Zurich, Switzerland)
  111. T. Kimoto, S. Nakazawa, K. Fujihira, T. Hirao, S. Nakamura, Y. Chen, K. Hashimoto, H. Matsunami. Mater. Sci. Forum, 389--393, 165 (2002)
  112. E. Kalinina, G. Kholujanov, V. Solov'ev, A. Strel'chuk, V. Kossov, R. Yafaev, A. Kovarski, A. Schukarev, S. Obyden, G. Saparin, P. Ivannikov, A. Hallen, A. Konstantinov. Appl. Surf. Sci., 184, 323 (2001)
  113. Г.Н. Виолина, Е.В. Калинина, Г.Ф. Холуянов, В.Г. Косов, Р.Р. Яфаев, А. Хален, А.О. Константинов. ФТП, 36, 750 (2002)
  114. G. Bertuccio, R. Casigaghi, F. Nava. IEEE Trans. Nucl. Sci., 48, 232 (2001)
  115. G. Bertuccio, R. Casigaghi. IEEE Trans. Nucl. Sci., 50, 175 (2003)
  116. GREE Research, Inc., Durham, NC 27 713, USA
  117. M. Bruzzi, F. Nava, S. Russo, S. Sciortino, P. Vanni. Diamond. Relat. Mater., 10, 657 (2001)
  118. P. Bergonzo, D. Tromson, C. Mer, B. Guizard, F. Foulon, A. Brambilla. Phys. St. Sol. (a). 185 (1), 167 (2001)
  119. M. Rogalla, K. Runge, A. Soldner-Rembold. Nucl. Phys. B, 78, 516 (1999)
  120. R.R. Ferber, G.N. Hamilton. Silicon Carbide High Temperature Neutron Detectors for Reactor Instrumentation. Westinghouse Research and Development Center Document No.65-1C2-RDFCT-P3 (June 1965)
  121. A.R. Dulloo, F.H. Ruddy, J.G. Seidel. Radiation Response Testing of SiC Semiconductor Neutron Detectors for Monitoring Thermal Neutron Flux. Westinghouse Science and Technology Report No.97-9TK1-NUSIC-R1 (1997)
  122. F.H. Ruddy, A.R. Dulloo, J.G. Seidel, S. Seshadri, L.B. Rowland. IEEE Trans. Nucl. Sci., 45 (3), 536 (1998)
  123. A.R. Dulloo, F.H. Ruddy, J.G. Seidel, C. Davison, T. Flinchbaugh, T. Daubenspeck. IEEE Trans. Nucl. Sci., 46 (3), 275 (1999)
  124. G. Lindstrom, M. Moll, E. Fretwurst. Nucl. Instr. Meth., A426, 1 (1999)
  125. E. Verbitskaya, M. Abreu, V. Bartsch at al., IEEE Trans. Nucl. Sci., 49 (1), 258 (2002)
  126. А.М. Иванов, Н.Б. Строкан, Д.В. Давыдов, Н.С. Савкина, А.А. Лебедев, Ю.Т. Миронов, Г.А. Рябов, Е.М. Иванов. ФТП, 35 (4), 495 (2001)
  127. A.M. Ivanov, N.B. Strokan, D.V. Davydov, N.S. Savkina, A.A. Lebedev, Yu.T. Mironov, G.A. Ryabov, E.M. Ivanov. Appl. Surf. Sci., 184, 431 (2001)
  128. N.S. Savkina, A.A. Lebedev, D.V. Davydov, A.M. Strel'chuk, A.S. Tregubova, C. Raynaud, J.-P. Chante, M.-L. Locatelli, D. Planson, J. Milan, P. Godignon, F.J. Campos, N. Mestres, J. Pascual, G. Brezeanu, M. Badila. Mater. Sci. Eng., B77, 50 (2000)
  129. М.М. Аникин, Н.И. Кузнецов, А.А. Лебедев, Н.С. Савкина, А.Л. Сыркин, В.Е. Челноков. ФТП, 28, 457 (1994)
  130. A.A. Lebedev, A.I. Veinger, D.V. Davydov, V.V. Kozlovskii, N.S. Savkina, A.M. Strel'chuk. J. Appl. Phys., 88, 1 (2000)
  131. В.В. Емцев, Т.Б. Машовец, В.В. Михнович. ФТП, 26, 22 (1992)
  132. G. Davies. Physica B, 273--274, 15 (1999)
  133. V. Eremin, N. Strokan, E. Verbitskaya, Z. Li. Nucl. Instrum. Meth., A372, 388 (1996)
  134. Н.Б. Строкан, А.А. Лебедев, А.М. Иванов, Д.В. Давыдов, В.В. Козловский. ФТП, 34, 1443 (2000)
  135. A.A. Lebedev, N.B. Strokan, A.M. Ivanov, D.V. Davydov, V.V. Kozlovskii. Mater. Sci. Forum, 353--356, 763 (2001)
  136. С.М. Рывкин. ЖТФ, 26, 2667 (1956)
  137. Н.А. Витовский, П.И. Малеев, С.М. Рывкин. ЖТФ, 28, 460 (1958)
  138. С.М. Рывкин. Фотоэлектрические явления в полупроводниках (М., Физматгиз, 1963)
  139. A. Rose. Concepts in Photoconductivity and Applied Problems (N.Y.--London, 1963)
  140. A.A. Lebedev, N.B. Strokan, A.M. Ivanov, D.V. Davydov, N.S. Savkina, E.V. Bogdanova, A.N. Kuznetsov, R. Yakimova. Appl. Phys. Lett., 79, 4447 (2001)
  141. N.B. Strokan, A.M. Ivanov, D.V. Davydov, N.S. Savkina, E.V. Bogdanova, A.N. Kuznetsov, A.A. Lebedev. Appl. Surf. Sci., 184, 455 (2001)
  142. А.А. Гринберг. ФТТ, 1, 31 (1959)
  143. S.M. Sze. Physics of Semiconductor Devices (John Wiley \& Sons, 1981).

Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.

Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.