"Физика и техника полупроводников"
Издателям
Вышедшие номера
О росте монокристаллов карбида кремния политипа 4H на затравках с плоскостью (1122)
Фадеев А.Ю.1, Лебедев А.О.2, Таиров Ю.М.1
1Санкт-Петербургский государственный электротехнический университет "ЛЭТИ" им. В.И. Ульянова (Ленина), Санкт-Петербург, Россия
2Физико-технический институт им. А.Ф. Иоффе РАН, Санкт-Петербург, Россия
Поступила в редакцию: 10 апреля 2012 г.
Выставление онлайн: 19 сентября 2012 г.

Исследованы особенности дефектной структуры слитков карбида кремния политипа 4H, выращенных модифицированным методом Лели на затравках с ориентацией поверхности (11 22). Показано, что данная плоскость затравки может быть использована для улучшения структурного совершенства слитков карбида кремния. Дефектная структура характеризуется полным отсутствием микропор, а также снижением плотности дислокаций (на порядок величины), по сравнению с затравкой. В то же время при росте на плоскости затравки (1122) наблюдается накопление дефектов упаковки. Характер дефектов упаковки отвечает формульному типу (5,2) в нотации Жданова (внутренний дефект по Франку).
  • В.В. Лучинин, Ю.М. Таиров. Петербургский журн. электроники, 3, 53 (1996)
  • H. Shiomi, H. Kinoshita, T. Furusho, T. Hayashi, M. Tajima, E. Higashi. J. Cryst. Growth, 292, 188 (2006)
  • J. Li, O. Filip, B.M. Epelbaum, X. Xu, M. Bickermann, A. Winnacker. J. Cryst. Growth, 308, 41 (2007)
  • H.-J. Rost, M. Schmidbauer, D. Siche, R. Fornari. J. Cryst. Growth, 290, 137 (2006)
  • S. Lele, B. Prasad, T.R. Anantharaman. Acta Crystallogr. A, 25, 471 (1969)
  • G. Feng, J. Suda, T. Kimoto. Physica B, 404, 4745 (2009)
  • S. Maximenko, J.A. Freitas, Jr., P.B. Klein, A. Shrivastava, T.S. Sudarshan Appl. Phys. Lett., 94, 092 101 (2009)
  • G. Feng, J. Suda, T. Kimoto. Appl. Phys. Lett., 92, 221 906 (2008)
  • H. Tsuchida, I. Kamata, M. Nagano. J. Cryst. Growth, 310, 757 (2008)
  • H. Song, T. Rana, T.S. Sudarshan. J. Cryst. Growth, 320, 95 (2011)
  • А. Верма, П. Кришна. Полиморфизм и политипизм в кристаллах (М.: Мир, 1969) с. 85
  • А.О. Лебедев. Завод. лаб.: диагностика материалов, 3, 16 (1998)
  • Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.

    Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.