"Физика и техника полупроводников"
Издателям
Вышедшие номера
Квантово-размерный эффект в пленках кремний-на-изоляторе, имплантированных большими дозами ионов водорода
Тысченко И.Е.1, Володин В.А.1,2
1Институт физики полупроводников им. А.В. Ржанова Сибирского отделения Российской академии наук, Новосибирск, Россия
2Новосибирский государственный университет, Новосибирск, Россия
Поступила в редакцию: 12 марта 2012 г.
Выставление онлайн: 19 сентября 2012 г.

В пленки кремний-на-изоляторе толщиной 280 нм были имплантированы ионы водорода с энергией 24 кэВ дозой 5·1017 см-2. В спектрах комбинационного рассеяния света наблюдались пики, соответствующие локализации оптических фононов в нанокристаллах кремния с размерами 1.9-2.5 нм. Доля нанокристаллической фазы составляла ~10%. Обнаружена полоса фотолюминесценции с максимумом около 1.62 эВ, интенсивность которой имела немонотонную зависимость от температуры измерений в диапазоне 88-300 K. Рост излучательной рекомбинации при температуре менее 150 K объясняется в рамках двухуровневой модели энергии сильно локализованных электронов и дырок. Величина энергии активации роста фотолюминесценции составляет 12.4 мэВ и соответствует энергии расщепления возбужденного состояния носителей зарядов, локализованных в нанокристалле кремния.
  • А.И. Екимов, А.А. Онущенко. Письма ЖЭТФ, 34, 363 (1981)
  • L.T. Cahnam. Appl. Phys. Lett., 57, 1046 (1990)
  • S. Mukhopadhyay, A. Chowdhury, S. Ray. Thin Sol. Films, 516, 6824 (2008)
  • M.N. van den Donker, B. Rech, F. Finger, W.M.M. Kessels, M.C.M. van de Sanden. Appl. Phys. Lett., 87, 263 503 (2005)
  • M.H. Brodsky, M. Cardona, J.J. Cuomo. Phys. Rev. B, 16, 3556 (1977)
  • Y. Hishikava. J. Appl. Phys., 62, 3150 (1987)
  • F.A. Sarrot, Z. Iqbal, S. Veprek. Sol. St. Commun., 42, 465 (1982)
  • G. Faraci, S. Gibilisco, P. Russo, A. Pennisi. Phys. Rev. B, 73, 033 307 (2006)
  • J. Zi, H. Buscher, C. Falter, W. Ludwig, K. Zhang, X. Xie. Appl. Phys. Lett., 69, 200 (1996)
  • H. Richter, Z.P. Wang, L. Ley. Sol. St. Commun., 39, 625 (1981)
  • YM.K. Weldon, V.E. Marsico, Y.J. Cjabal, A. Agarwal, D.J. Eaglesham, J. Sapjeta, W.L. Brown, D.C. Jacobson, Y. Caudano, S.B. Christman, E.E. Chaban. J. Vac. Sci. Technol. B, 15, 1065 (1997)
  • Ал.Л. Эфрос, А.Л. Эфрос. ФТП, 16, 1209 (1982)
  • M.L. Brongersma, P.G. Kik, A. Pollman, K.S. Min, H.A. Atwater. Appl. Phys. Lett., 76, 351 (2000)
  • A.G. Cullis, L.T. Canham, P.D.J. Calcott. J. Appl. Phys., 82, 909 (1997)
  • S. Takeoka, M. Fujii, S. Hayashi. Phys. Rev. B, 62, 16 820 (2000).
  • Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.

    Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.