"Физика и техника полупроводников"
Вышедшие номера
Изохронный отжиг образцов n-Si, облученных протонами с энергией 25 МэВ
Пагава Т.А.1, Беридзе М.Г.1, Майсурадзе Н.И.1
1Грузинский технический университет (департамент физики), Тбилиси, Грузия
Поступила в редакцию: 19 января 2012 г.
Выставление онлайн: 19 сентября 2012 г.

Выполнены экспериментальные исследования эффекта Холла на облученных протонами монокристаллах n-Si с исходной концентрацией электронов проводимости N=6·1013 см-3. Показано, что при облучении протонами с энергией 25 МэВ наблюдается аномальное увеличение подвижности электронов, что объясняется образованием в кристалле металлических включений с омическим переходом на границе раздела с полупроводниковой матрицей. В процессе изохронного отжига вокруг металлических включений образуются непрозрачные для электронов проводимости оболочки из отрицательно заряженных акцепторных радиационных дефектов, что приводит к резкому уменьшению подвижности. Осцилляционная зависимость подвижности от температуры отжига объясняется изменением степени экранирования металлических включений отрицательно заряженными оболочками. Скопления межузельных атомов (металлические включения) отжигаются при 400oC.
  1. Ж. Бургуэн, М. Ланно. Точечные дефекты в полупроводниках. Экспериментальные аспекты (М., Мир, 1985)
  2. В.С. Вавилов, В.Ф. Киселев, Б.Н. Мукашев. Дефекты в кремнии и на его поверхности (М., Наука, 1990)
  3. В.В. Емцев, Т.В. Машовец. Примеси и точечные дефекты в полупроводниках (М., Радио и связь, 1981)
  4. B.R. Gossik. J. Appl. Phys., 30, 1214 (1959)
  5. Р.Ф. Коноплева, В.Л. Литвинов, Н.А. Ухин. Особенности радиационного повреждения полупроводников частицами высоких энергий (М., Атомиздат, 1971)
  6. Физические процессы в облученных полупроводниках, под ред. Л.С. Смирнова (Новосибирск, Наука, 1977)
  7. Т.А. Пагава, Н.И. Майсурадзе. ФТП, 44, 160 (2010)
  8. Т.А. Пагава, Н.И. Майсурадзе, М.Г. Беридзе. ФТП, 45, 582 (2011)
  9. Е.В. Кучис. Гальваномагнитные эффекты и методы их исследования (М., Радио и связь, 1990)
  10. А.А. Асеев, Л.Н. Федина, Д. Хoаль, Х. Барч. Скрепления межузельных атомов в кремнии и германии (Новосибирск, Наука, 1991)
  11. И.В. Антонова, С.С. Шаймиев, С.А. Смагулова. ФТП, 40, 557 (2006)
  12. Л.С. Милевский, Т.М. Ткачева, Т.А. Пагава. ЖЭТФ, 69, 2132 (1975)
  13. Н.И. Бояркина, С.А. Смагулова, А.А. Артемьев. ФТП, 36, 9007 (2002)
  14. T. Pagava, L. Chkhartishvili, N. Maisuradze. Rad. Eff. Def. Solids, 161, 709 (2006)
  15. Ю.В. Помозов, М.Г. Соснин, Л.И. Хируненко, В.И. Яшник, Н.В. Абрасимов, В. Шредер, М. Хене. ФТП, 34, 1030 (2000)
  16. М.Г. Мильвидский, В.В. Чалдышев. ФТП, 32, 513 (1998)

Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.

Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.