"Физика и техника полупроводников"
Издателям
Вышедшие номера
Импульсное лазерное осаждение тонких пленок ITO и их характеристики
Зуев Д.А.1, Лотин А.А.1, Новодворский О.А.1, Лебедев Ф.В.1, Храмова О.Д.1, Петухов И.А.2, Путилин Ф.Н.2, Шатохин А.Н.2, Румянцева М.Н.2, Гаськов А.М.2
1Институт проблем лазерных и информационных технологий Российской академии наук, Шатура, Россия
2Московский государственный университет (химический факультет), Москва, Россия
Поступила в редакцию: 18 октября 2011 г.
Выставление онлайн: 18 февраля 2012 г.

Методом импульсного лазерного осаждения выращены тонкие пленки оксида индия и олова (ITO) на подложках из кварцевого стекла. Проведены исследования структурных, электрических и оптических свойств пленок ITO в зависимости от температуры подложки, давления кислорода в вакуумной камере и концентрации Sn в мишени. Пропускание полученных пленок ITO в видимой области спектра превышает 85%. Достигнуто минимальное значение удельного сопротивления 1.79· 10-4 Ом·см в пленках ITO с содержащием Sn 5 ат%.
  • S.H. Kim, N. Park, T.Y. Kim, G.Y. Sung. Thin Sol. Films, 475, 262 (2005)
  • C. Viespe, I. Nicolae, C. Sima, C. Grigoriu, R. Medianu. Thin Sol. Films, 515, 8771 (2007)
  • T. Maruyama, K. Fukui. Thin Sol. Films, 201 (2), 297 (1991)
  • A. Suzuki, K. Maki. Chem. Vapor Deposition, 12 (10), 608 (2006)
  • A.A. Karim, C. Deshpandey, H.J. Doerr, R.F. Bynshah. Thin Sol. Films, 172 (1), 111 (1989)
  • C. May, J. Strumpfel. Thin Sol. Films, 351 (1-2), 48 (1999)
  • F.El Akkad, A. Punnoose, G. Prabu. Appl. Phys. A, 71 (2), 157 (2000)
  • R.B.H. Tahar, T. Ban, Y. Ohya, Y. Takahashi. J. Appl. Phys., 83, 2139 (1998)
  • M. Ritala, T. Asikainen, H. Leskela. Electrochem. Solid-State Lett., 1, 156 (1998)
  • H. Kim, J.S. Horwitz, A. Pique, C.M. Gilmore, D.B. Chrisey. Appl. Phys. A, 69 (7), 447 (1999)
  • H. Kim, J.S. Horwitz, G.P. Kushto, Z.H. Kafafi, D.B. Chrisey. Appl. Phys. Lett., 79, 284 (2001)
  • J.H. Shin, S.H. Shin, J.I. Park, H.H. Kim. J. Appl. Phys., 89, 5199 (2001)
  • H. Izumi, T. Ishihara, H. Yoshioka, M. Motoyama. Thin Sol. Films, 411, 32 (2002)
  • P.F. Carcia, R.S. Mc Lean, M.H. Reily, Z.G. Li, L.J. Pillone, R.F. Messier. Appl. Phys. Lett., 81, 1800 (2002)
  • K.A. Sierros, D.R. Cairns, J.S. Abell, S.N. Kukureka. Thin Sol. Films, 518 (10), 2623 (2010)
  • D. Kim, S. Kim. Surf. Coat. Technol., 176, 23 (2003)
  • О.А. Новодворский, А.А. Лотин, В.Я. Панченко, Л.С. Паршина, Е.В. Хайдуков, Д.А. Зуев, О.Д. Храмова. Квант. электрон., 41 (1), 4 (2011)
  • О.А. Новодворский, Л.С. Горбатенко, В.Я. Панченко, О.Д. Храмова, Е.А. Черебыло, К. Венцель, Й.В. Барта, В.Т. Бублик, К.Д. Щербачев. ФТП, 43 (4), 439 (2009)
  • E. Holmelund, J. Schou, B. Thestrup, S. Tougaard, E. Johnson, M.M. Nielsen. Appl. Phys. A, 79, 1137 (2004)
  • T.K. Yong, T.Y. Tou, B.S. Teo. Appl. Surf. Sci., 248, 388 (2005)
  • A. Suzuki, T. Matsushita, T. Aoki, A. Mori, M. Okuda. Thin Sol. Films, 411 (1), 23 (2002)
  • R.K. Gupta, K. Ghosh, S.R. Mishra, P.K. Kahol. Mater. Lett., 62, 1033 (2008)
  • F.O. Adurodija, H. Izumi, T. Ishihara, H. Yoshioka, K. Yamada, H. Matsui, M. Motoyama. Thin Solid Films, 350 (1-2), 79 (1999)
  • D.B. Chrisey, G.K. Hubler. Pulsed Laser Deposition of Thin Films (N. Y., John Wiley \& Sons, Inc., 1994)
  • M. Mizuhashi. Thin Sol. Films, 70 (1), 91 (1980)
  • R. Eason. Pulsed Laser Deposition of Thin Films: Applicatians --- Led Growth of Functional Materials (N. Y., John Wiley \& Sons, Inc., 2006)
  • M. Aven, J. Prener. Physics and chemistry of II-VI compounds (Amsterdam, North-Holland Publishing Company, 1970)
  • D.S. Ginley, H. Hosono, D.C. Paine. Handbook of Transparent Conductors (N. Y., Springer Science+Business Media, 2010)
  • I. Hamberg, C.G. Granqvist, K.-F. Berggren, B.E. Sernelius, L. Engstrom. Phys. Rev. B, 30, 3240 (1984)
  • Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.

    Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.