"Физика и техника полупроводников"
Издателям
Вышедшие номера
Деформация поверхности арсенида галлия в процессе осаждения золота
Брянцева Т.А.1, Любченко Д.В.1, Марков И.А.1, Тен Ю.А.1
1Институт радиоэлектроники им. В.А. Котельникова Российской академии наук (Фрязинский филиал), Фрязино, Россия
Поступила в редакцию: 28 апреля 2011 г.
Выставление онлайн: 21 ноября 2011 г.

Изучены явления деформации приповерхностных слоев арсенида галлия с помощью поверхностных акустических волн в процессе осаждения золота и облучения поверхности полупроводника светом разогретого испарителя. Показано, что в случае осаждения золота в результате фазовых превращений в системе Au-Ga-As происходит пластификация приповерхностных слоев, тогда как при облучении светом поверхности GaAs --- формирование крупнозернистого слоя оксида с жидкоподобными прослойками. В результате изменяются вид деформаций поверхности и время их релаксации. Интегральные временные характеристики поверхностной акустической волны, такие как интегралы изменения ее скорости и рассеянной мощности, отражают протекающие на поверхности процессы в режиме реального времени. Суммарно они отображают текущую величину результирующей деформации. Определены параметры протекающих процессов, такие как величина энергии активации и времена релаксации.
  • T.A. Briantseva, Z.N. Lebedeva, I.A. Markov, T.J. Bullough, D.V. Lioubtchenko. App. Surf. Sci., 143, 223 (1999)
  • D.V. Lioubtchenko, I.A. Markov, T.A. Briantseva. App. Surf. Sci., 211 (1--4), 335 (2003)
  • T.A. Briantseva, T.J. Bullough, D.V. Lioubtchenko, I.A. Markov, E.M. Tolmachev. Abstracts 9th Int. Conf. on Phonon Scattering in Condensed Matter (Lancaster, UK, 1998)
  • Т.А. Брянцева, В.Е. Любченко, Д.В. Любченко, И.А. Марков. Инженерная физика, 2, 31 (2008)
  • Т.А. Брянцева, Д.В. Любченко, И.А. Марков, Е.М. Толмачев. Неорг. матер., 45 (8), 901 (2009)
  • I.A. Markov, T.A. Briantseva, D.V. Lioubtchenko. Proc. Int. Conf. of Mass and Charge Transport in Inorganic Materials (Italy, 2000) p. 701
  • T.A. Briantseva, I.A. Markov, D.V. Lioubtchenko. Proc. Int. Conf. of Mass and Charge Transport in Inorganic Materials (Italy, 2000) p. 477
  • D.V. Lioubtchenko, I.A. Markov, T.A. Briantseva, V.E. Lioubtchenko. Proc. WOCSDICE 2001 (Cagliari, Italy, May, 2001) p. 123
  • В.М. Фридкин. Динамика решетки и фазовые переходы. Современная кристаллография (М., Наука, 1979) т. 2, гл. 4, с. 262
  • С.О. Гладков. Физика композитов. Термодинамические и диссипативные свойства (М., Наука, 1999)
  • А.А. Детлаф, Б.М. Яворский. Волны в упругой среде. Курс физики (М., Высш. шк., 1989)
  • Ю.Г. Фролов. Количественные характеристики когезии и адгезии. Курс коллоидной химии. Поверхностные явления и дисперсные системы (М., Химия, 1982)
  • Я.И. Френкель. Введение в теорию металлов (Л., Наука, 1972)
  • Арсенид галия. Получение, свойства и применение: Коллективная монография, под ред. Ф.П. Кесаманлы, Д.Н. Наследова (М., Наука, 1973)
  • Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.

    Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.