Экспериментально обнаружен и изучен новый эффект при термомиграции через пластину кремния (100) алюминиевых зон, сформированных из линейных элементов в виде замкнутого квадрата со стороной <520 мкм, проявляющийся в сложной трансформации жидкой зоны и формировании эпитаксиального канала бокалообразной формы. Границы канала образуют в пластине два криволинейных p-n-перехода, обладающих разными электрофизическими свойствами. Внешний переход имеет участки с таким же знаком кривизны, как и на закруглениях обычных p-n-переходов, полученных с помощью планарной диффузии. Внутренний p-n-переход имеет противоположный (отрицательный) знак кривизны, недостижимый в обычных переходах. Показано, что такая кривизна внутреннего перехода приводит к расширению области пространственного заряда в слаболегированном материале n-типа и к увеличению пробивного напряжения p-n-перехода. Ключевые слова: термомиграция, кремний, квадратные зоны, трансформация, напряжение пробоя.

Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.

Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.