Снижение внешней квантовой эффективности ультрафиолетовых светодиодов, вызванное перелегированием барьеров кремнием
Шабунина Е.И.1, Шмидт Н.М.1, Черняков А.Е.2, Тальнишних Н.А.2, Закгейм А.Л.2, Иванов А.Е.2,3, Алексанян Л.А.4, Поляков А.Я.4
1Физико-технический институт им. А.Ф. Иоффе РАН, Санкт-Петербург, Россия
2НТЦ микроэлектроники Российской академии наук, Санкт-Петербург, Россия
3Санкт-Петербургский государственный электротехнический университет "ЛЭТИ" им. В.И. Ульянова (Ленина), Санкт-Петербург, Россия
4Национальный исследовательский технологический университет "МИСиС", Москва, Россия

Email: jenni-85@mail.ru
Поступила в редакцию: 5 мая 2025 г.
В окончательной редакции: 24 июня 2025 г.
Принята к печати: 18 сентября 2025 г.
Выставление онлайн: 1 декабря 2025 г.
Исследованы коммерческие AlGaN ультрафиолетовые светодиоды с длиной волны излучения 270-280 нм и внешней квантовой эффективностью 5-7 %. C-V-профилирование выявило на порядок более высокую концентрацию электронов в активной области по сравнению с синими светодиодами, вызванную перелегированием кремнием. Анализ спектров электролюминесценции и частотных зависимостей спектральной плотности низкочастотного шума выявил перестройку возбужденных дефектов в ультрафиолетовых светодиодах при уровнях инжекции на порядок ниже, чем в синих светодиодах, а также начало генерации дефектов при старении после 25 ч. Ключевые слова: светодиоды, УФ диапазон, MQW, AlGaN/GaN, низкочастотный шум.
- H. Xu, H. Long,, J. Jiang, M. Sheikhi, L. Li, W. Guo, J. Dai, C. Chen, J. Ye. Nanotechnology, 30, 435202 (2019). DOI: 10.1088/1361-6528/ab3208
- M. Kneissl, T.Y. Seong, H. Jung, A. Hiroshi. Nat. Photonics, 13, 233 (2019)
- Q. Ong, J.W.R. Teo, J.D. Cruz, E. Wee, W. Wee, W. Han. Heliyon, 8, 11132 (2022). https://doi.org/10.1016/j.heliyon.2022.e11132
- M. Su, H. Liu, M. Cai, W. Sun. IEEE Trans. Electron Dev., 70 (2), 570 (2023)
- F. Piva, M. Buffolo, N. Roccato, M. Pilati, S. Longato, N. Susilo, D.H. Vidal, A. Muhin, L. Sulmoni, T. Wernicke, M. Kneissl, C.D. Santi, G. Meneghesso, E. Zanoni, M. Meneghini. Semicond. Sci. Technol., 39, 075025 (2024). https://doi.org/10.1088/1361-6641/ad54e9
- H. Hirayama, T. Takano, M.S. Jun, T. Takuya, M. Kenji, J. Noritoshi, I.O. Masafumi, M. Issei, K. Takuma. Proc. SPIE, 10104, 101041 (2017)
- M. Su, H. Liu, M. Cai, W. Sun. IEEE Trans. Electron Dev., 70 (2), 570 (2023)
- G. Savchenko, E. Shabunina, A. Chernyakov, N. Talnishnikh, A. Ivanov, A. Abramov, A. Zakgeim, V. Kuchinskii, G. Sokolovskii, N. Averkiev, N. Shmidt. Nanomaterials, 14, 1072 (2024). https://doi.org/10.3390/
- V. Davydov, E.M. Roginskii, Y. Kitaev, A. Smirnov, I. Eliseyev, E. Zavarin, W. Lundin, D. Nechaev, V. Jmerik, M. Smirnov, M. Pristovsek, T. Shubina. Nanomaterials, 11, 2396 (2021). https://doi.org/10.3390/nano11092396
- Г.П. Жигальский. Флуктуации и шумы в электронных и твердотельных приборах (М., Физматлит, 2012)
- С. Зи. Физика полупроводниковых приборов (М., Мир, 1984) ч. 1
- С.С. Мамакин, А.Э. Юнович, А.Б. Ваттана, Ф.И. Маняхин. ФТП, 37, 1131 (2003)
- V.M. Busov, V.V. Emtsev, R.N. Kyutt, V.V. Lundin, D.S. Poloskin, V.V. Ratnikov, A.V. Sakharov, N.M. Shmidt. Solid State Phenomena, 69-70, 525 (1999)
- V.N. Abakumov, V.I. Perel, I.N. Yassievich, G.V. Gordeeva. Nonradiative Recombination in Semiconductors; Modern Problems in Condensed Matter Sciences (North-Holland, Amsterdam--Oxford--N. Y., 1991)
Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.
Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.