Влияние температуры облучения на скорость удаления носителей в GaN
Лебедев А.А.1, Козловский В.В.1,2, Малевский Д.А.1, Сахаров А.В.1, Давыдовская К.С.1, Левинштейн М.Е.1, Николаев А.Е.1
1Физико-технический институт им. А.Ф. Иоффе РАН, Санкт-Петербург, Россия
2Сaнкт-Петербургский политехнических университет Петра Великого, Санкт-Петербург, Россия
Email: shura.lebe@mail.ioffe.ru
Поступила в редакцию: 4 мая 2025 г.
В окончательной редакции: 2 июля 2025 г.
Принята к печати: 2 июля 2025 г.
Выставление онлайн: 31 августа 2025 г.
Создание приборов на основе широкозонных полупроводников является одним из наиболее быстроразвивающихся направлений современной электроники. В статье проведено сравнение влияния температуры облучения на радиационную стойкость GaN при облучении протонами и электронами. Определена скорость удаления носителей в GaN в случае облучения протонами и электронами при повышенных температурах. Показано, что, как и в случае SiC, происходит значительное уменьшение скорости удаления носителей при температуре облучения 200 oC по сравнению с облучением при комнатной температуре. Ключевые слова: GaN, SiC, радиационная стойкость, температура облучения, протоны, электроны.
- X. Liu, P. Zou, H. Wang, Yu. Lin, J. Wu, Z. Chen, X. Wang, Sh. Huang. IEEE Trans. Electron Dev., 70, 3748 (2023)
- M. Matys, K. Kitagawa, T. Narita, T. Uesugi, J. Suda, T. Kachi. Appl. Phys. Lett., 121, 203507 (2022)
- D. Khachariya, Sh. Stein, W. Mecouch, M. HaydenBreckenridge, Sh. Rathkanthiwar, S. Mita, B. Moody1, P. Reddy, J. Tweedie, R. Kirste, K. Sierakowski, G. Kamler, M. Bockowski, E. Kohn, S. Pavlidis, R. Collazo, Z. Sitar. Appl. Phys. Express, 15, 101004 (2022)
- А.А. Лебедев, В.В. Козловский, М.Е. Левинштейн, К.С. Давыдовская, Р.А. Кузьмин, Прверхность. Рентгеновские, синхротронные и нейтронные исследования, N 9, 58 (2024)
- E. Omotoso, W.E. Meyer, F. D. Auret, A.T. Paradzah, M. Diale, S.M.M. Coelho, P.J. Janse, van Rensburg. Mater. Sci. Semicond. Process., 39, 112 (2015)
- Z. Luo, T. Chen, J.D. Cressler, D.C. Sheridan, J.R. Williams, R.A. Reed, P.W. Marshall. IEEE Trans. Nucl. Sci., 50, 1821 (2003)
- S.J. Pearton, F. Ren, E. Patrick, M.E. Law, A.Y. Polyakov. ECS J. Solid State Sci. Technol., 5 (2), Q35 (2016)
- S.J. Pearton, R. Deist, F. Ren, Lu Liu, A.Y. Polyakov, J. Kim. J. Vac. Sci. Technol. A, 31 (5), 050801 (2013)
- С.Ю. Давыдов, К.С. Давыдовская, В.В. Козловский, А.А. Лебедев. ФТП, 58 (9), 482 (2024)
- V.V. Kozlovski, A.E. Vasil'ev, A.A. Lebedev, E.E. Zhurkin, M.E. Levinshtein, A.M. Strelchuk, D.A. Malevsky, A.V. Sakharov, A.E. Nikolaev. J. Surf. Investigation: X-ray, Synchrotron and Neutron Techniques, 18 (6), 1577 (2024)
Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.
Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.