Вышедшие номера
Стабилизация заряда на границе со скрытым диэлектриком структур кремний-на-изоляторе
Антонова И.В.1
1Институт физики полупроводников им. А.В. Ржанова Сибирского отделения Российской академии наук, Новосибирск, Россия
Поступила в редакцию: 13 января 2005 г.
Выставление онлайн: 19 сентября 2005 г.

Проведено исследование влияния дополнительной имплантации ионов водорода в область границы раздела между отсеченным слоем кремния и скрытым диэлектриком структур кремний-на-изоляторе с последующим высокотемпературным отжигом на параметры структур и их радиационные свойства. Такая модификация структур кремний-на-изоляторе приводит к следующим эффектам. Происходит закрепление подвижного заряда, присутствующего в окисле исходных структур, что стабилизирует характеристики структур кремний-на-изоляторе, при одновременном увеличении фиксированного заряда вблизи границы с отсеченным слоем кремния. Кроме того, в окисле вводятся дополнительные ловушки, преимущественно ловушки для электронов, которые при облучении накапливают отрицательный заряд. В результате заряд в окисле структур кремний-на-изоляторе несколько убывает на начальном этапе облучения, а затем практически не меняется до доз 107 рад. На второй границе структуры при облучении идет обычное накопление положительного заряда, которое характерно и для исходных, немодифицированных структур кремний-на-изоляторе.
  1. В.А. Гуртов. Радиационные процессы в структурах метал--диэлектрик--полупроводник (Петрозаводск, 1988)
  2. Y.E. Boesch, T.L. Taylor, L.R. Hite, W.E. Bailey. IEEE Trans. Nucl. Sci., 37, 1982 (1990)
  3. A.N. Nazarov, T. Gebel, L. Rebohle, W. Skorupa. J. Appl. Phys., 94, 4440 (2003)
  4. A.N. Nazarov, V.I. Kilchytska, I.P. Barchuk, A. Tkachenko. Abstracts of Meeting of Electrochem. Society (Washington, N502, 2001)
  5. Д.В. Николаев, И.В. Антонова, О.В. Наумова, В.П. Попов, С.А. Смагулова. ФТП, 36, 855 (2002)
  6. В.П. Попов, И.В. Антонова, Л.В. Миронова, В.Ф. Стась. Патент "Способ изготовления струкутр кремний-на-изоляторе", N 216719 (1999)

Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.

Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.