"Физика и техника полупроводников"
Издателям
Вышедшие номера
Стабилизация заряда на границе со скрытым диэлектриком структур кремний-на-изоляторе
Антонова И.В.1
1Институт физики полупроводников Сибирского отделения Российской академии наук, Новосибирск, Россия
Поступила в редакцию: 13 января 2005 г.
Выставление онлайн: 20 сентября 2005 г.

Проведено исследование влияния дополнительной имплантации ионов водорода в область границы раздела между отсеченным слоем кремния и скрытым диэлектриком структур кремний-на-изоляторе с последующим высокотемпературным отжигом на параметры структур и их радиационные свойства. Такая модификация структур кремний-на-изоляторе приводит к следующим эффектам. Происходит закрепление подвижного заряда, присутствующего в окисле исходных структур, что стабилизирует характеристики структур кремний-на-изоляторе, при одновременном увеличении фиксированного заряда вблизи границы с отсеченным слоем кремния. Кроме того, в окисле вводятся дополнительные ловушки, преимущественно ловушки для электронов, которые при облучении накапливают отрицательный заряд. В результате заряд в окисле структур кремний-на-изоляторе несколько убывает на начальном этапе облучения, а затем практически не меняется до доз 107 рад. На второй границе структуры при облучении идет обычное накопление положительного заряда, которое характерно и для исходных, немодифицированных структур кремний-на-изоляторе.
  • В.А. Гуртов. Радиационные процессы в структурах метал--диэлектрик--полупроводник (Петрозаводск, 1988)
  • Y.E. Boesch, T.L. Taylor, L.R. Hite, W.E. Bailey. IEEE Trans. Nucl. Sci., 37, 1982 (1990)
  • A.N. Nazarov, T. Gebel, L. Rebohle, W. Skorupa. J. Appl. Phys., 94, 4440 (2003)
  • A.N. Nazarov, V.I. Kilchytska, I.P. Barchuk, A. Tkachenko. Abstracts of Meeting of Electrochem. Society (Washington, N502, 2001)
  • Д.В. Николаев, И.В. Антонова, О.В. Наумова, В.П. Попов, С.А. Смагулова. ФТП, 36, 855 (2002)
  • В.П. Попов, И.В. Антонова, Л.В. Миронова, В.Ф. Стась. Патент "Способ изготовления струкутр кремний-на-изоляторе", N 216719 (1999)
  • Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.

    Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.