"Физика и техника полупроводников"
Вышедшие номера
Ловушки для электронов в тонких слоях низкотемпературного арсенида галлия с наноразмерными кластерами As-Sb
Брунков П.Н.1, Гуткин А.А.1, Чалдышев В.В.1, Берт Н.Н.1, Конников С.Г.1, Преображенский В.В.2, Путято М.А.2, Семягин Б.Р.2
1Физико-технический институт им. А.Ф. Иоффе РАН, Санкт-Петербург, Россия
2Институт физики полупроводников им. А.В. Ржанова Сибирского отделения Российской академии наук, Новосибирск, Россия
Поступила в редакцию: 1 января 2004 г.
Выставление онлайн: 20 августа 2005 г.

С помощью нестационарной спектроскопии глубоких уровней проведены исследования электронных ловушек в слоях низкотемпературного GaAs толщиной ~40 нм, содержащих наноразмерные кластеры As-Sb. Проведение измерений при различных напряжениях смещения и небольших величинах заполняющего импульса позволило выявить две группы ловушек T1 и T2 с заметно различающимися скоростями термической эмиссии электронов. Показано, что плотность ловушек T2 (энергия активации 0.56±0.04 эВ, сечение захвата электронов 2·10-13-10-12 см2) составляет ~2·1012 см-2, тогда как плотность ловушек T1 (энергия активации 0.44±0.02 эВ, сечение захвата электронов 2·10-14-10-13 см2) --- на порядок ниже. Предполагается, что в соответствии с существованием двух групп кластеров, наблюдавшихся в исследуемых слоях, ловушки T2 связаны с кластерами с диаметром 4-7 нм, тогда как ловушки T1 --- с группой крупных кластеров с диаметром до ~20 нм.
  1. M.R. Melloch, N. Otsuka, K. Mahalingam, C.L. Chang, P.K. Kirchner, J.M. Woodall, A.C. Warren. Appl. Phys. Lett., 61, 177 (1992)
  2. T.M. Cheng, C.Y. Chang, J.H. Huang. J. Appl. Phys., 76, 5697 (1994)
  3. Н.Н. Берт, В.В. Чалдышев, Д.Н. Лубышев, В.В. Преображенский, Б.Р. Семягин. ФТП, 29, 123 (1995)
  4. N.N. Bert, B.B. Chaldyshev, A.E. Kunitsyn, Yu.G. Musikhin, N.N. Faleev, V.V. Preobrazhenskii, M.A. Putyato, B.R. Semyagin. Appl. Phys. Lett., 70, 3146 (1997)
  5. V.V. Chaldyshev. Mater. Sci. Eng. B, 88, 195 (2002)
  6. П.Н. Брунков, А.А. Гуткин, Ю.Г. Мусихин, В.В. Чалдышев, Н.Н. Берт, С.Г. Конников, В.В. Преображенский, М.А. Путято, Б.Р. Семягин. ФТП, 39, 41 (2005)
  7. П.Н. Брунков, А.А. Гуткин, А.К. Моисеенко, Ю.Г. Мусихин, В.В. Чалдышев, Н.Н. Черкашин, С.Г. Конников, В.В. Преображенский, М.А. Путято, Б.Р. Семягин. ФТП, 38, 401 (2004)

Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.

Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.