"Физика и техника полупроводников"
Издателям
Вышедшие номера
Ловушки для электронов в тонких слоях низкотемпературного арсенида галлия с наноразмерными кластерами As-Sb
Брунков П.Н.1, Гуткин А.А.1, Чалдышев В.В.1, Берт Н.Н.1, Конников С.Г.1, Преображенский В.В.2, Путято М.А.2, Семягин Б.Р.2
1Физико-технический институт им. А.Ф. Иоффе РАН, Санкт-Петербург, Россия
2Институт физики полупроводников им. А.В. Ржанова Сибирского отделения Российской академии наук, Новосибирск, Россия
Поступила в редакцию: 1 января 2004 г.
Выставление онлайн: 20 августа 2005 г.

С помощью нестационарной спектроскопии глубоких уровней проведены исследования электронных ловушек в слоях низкотемпературного GaAs толщиной ~40 нм, содержащих наноразмерные кластеры As-Sb. Проведение измерений при различных напряжениях смещения и небольших величинах заполняющего импульса позволило выявить две группы ловушек T1 и T2 с заметно различающимися скоростями термической эмиссии электронов. Показано, что плотность ловушек T2 (энергия активации 0.56±0.04 эВ, сечение захвата электронов 2·10-13-10-12 см2) составляет ~2·1012 см-2, тогда как плотность ловушек T1 (энергия активации 0.44±0.02 эВ, сечение захвата электронов 2·10-14-10-13 см2) --- на порядок ниже. Предполагается, что в соответствии с существованием двух групп кластеров, наблюдавшихся в исследуемых слоях, ловушки T2 связаны с кластерами с диаметром 4-7 нм, тогда как ловушки T1 --- с группой крупных кластеров с диаметром до ~20 нм.
  • M.R. Melloch, N. Otsuka, K. Mahalingam, C.L. Chang, P.K. Kirchner, J.M. Woodall, A.C. Warren. Appl. Phys. Lett., 61, 177 (1992)
  • T.M. Cheng, C.Y. Chang, J.H. Huang. J. Appl. Phys., 76, 5697 (1994)
  • Н.Н. Берт, В.В. Чалдышев, Д.Н. Лубышев, В.В. Преображенский, Б.Р. Семягин. ФТП, 29, 123 (1995)
  • N.N. Bert, B.B. Chaldyshev, A.E. Kunitsyn, Yu.G. Musikhin, N.N. Faleev, V.V. Preobrazhenskii, M.A. Putyato, B.R. Semyagin. Appl. Phys. Lett., 70, 3146 (1997)
  • V.V. Chaldyshev. Mater. Sci. Eng. B, 88, 195 (2002)
  • П.Н. Брунков, А.А. Гуткин, Ю.Г. Мусихин, В.В. Чалдышев, Н.Н. Берт, С.Г. Конников, В.В. Преображенский, М.А. Путято, Б.Р. Семягин. ФТП, 39, 41 (2005)
  • П.Н. Брунков, А.А. Гуткин, А.К. Моисеенко, Ю.Г. Мусихин, В.В. Чалдышев, Н.Н. Черкашин, С.Г. Конников, В.В. Преображенский, М.А. Путято, Б.Р. Семягин. ФТП, 38, 401 (2004)
  • Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.

    Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.