"Физика и техника полупроводников"
Издателям
Вышедшие номера
Волноводные Ge / Si-фотодиоды со встроенными слоями квантовых точек Ge для волоконно-оптических линий связи
Якимов А.И.1, Двуреченский А.В.1, Кириенко В.В.1, Степина Н.П.1, Никифоров А.И.1, Ульянов В.В.1, Чайковский С.В.1, Володин В.А.1, Ефремов М.Д.1, Сексенбаев М.С.1, Шамирзаев Т.С.1, Журавлев К.С.1
1Институт физики полупроводников им. А.В. Ржанова Сибирского отделения Российской академии наук, Новосибирск, Россия
Поступила в редакцию: 3 февраля 2004 г.
Выставление онлайн: 19 сентября 2004 г.

Сообщаются результаты исследований, направленных на создание высокоэффективных фотоприемников на основе гетероструктур Ge / Si для применения в волоконно-оптических линиях связи. Фотоприемники выполнены в виде вертикальных p-i-n-диодов на подложках кремний-на-изоляторе в сочетании с волноводной латеральной геометрией и содержат слои квантовых точек Ge. Слоевая плотность квантовых точек составляет 1·1012 см-2, размеры точек в плоскости роста ~8 нм. Достигнута наибольшая из известных в литературе для Ge / Si-фотодиодов с квантовыми точками величина квантовой эффективности в диапазоне телекоммуникационных длин волн, которая при засветке со стороны торца волноводов составила 21% на длине волны 1.3 мкм и 16% на длине волны 1.55 мкм.
  • H. Presting. Thin Sol. Films, 321, 186 (1998)
  • W.-H. Chang, A.T. Chou, W.Y. Chen, H.S. Chang, T.M. Hsu, Z. Pei, P.S. Chen, S.W. Lee, L.S. Lai, S.C. Lu, M.-J. Tsai. Appl. Phys. Lett., 83, 2958 (2003)
  • S. Tong, J.L. Wan, K. Wang. Appl. Phys. Lett., 80, 1189 (2002)
  • А.И. Якимов, А.В. Двуреченский, А.И. Никифоров, С.В. Чайковский, С.А. Тийс. ФТП, 37, 1383 (2003)
  • M. Elcurdi, P. Boucaud, S. Sauvage, G. Fishman, O. Kermarrec, Y. Campidelli, D. Bensahel, G. Saint-Girons, G. Patriarche, I. Sagnes. Physica E, 16, 523 (2003)
  • A. Elfving, G.V. Hansson, W.-X. Ni. Physica E, 16, 528 (2003)
  • А.И. Никифоров, В.В. Ульянов, О.П. Пчеляков, С.А. Тийс, А.К. Гутаковский. ФТТ, 46, 80 (2004)
  • A.I. Yakimov, A.V. Dvurechenskii, A.I. Nikiforov, V.V. Ulyanov, A.G. Milekhin, A.O. Govorov, S. Schulze, D.R.T. Zahn. Phys. Rev. B, 67, 125 318 (2003)
  • A.V. Kolobov. J. Appl. Phys., 87, 2926 (2000)
  • P.M. Mooney, F. Dacol, J.C. Tsang, J.O. Chu. Appl. Phys. Lett., 62, 2069 (1993)
  • F. Cerdeira, C.J. Buchenauer, F.H. Pollak, M. Cardona. Phys. Rev. B, 5, 580 (1972)
  • J. Groenen, R. Carles, S. Christiansen, M. Albrecht, W. Dorsch, H.P. Strunk, H. Wawra, G. Wagner. Appl. Phys. Lett., 71, 3856 (1997)
  • Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.

    Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.