"Физика и техника полупроводников"
Издателям
Вышедшие номера
Границы раздела слоев и шероховатость в многослойной кремниевой структуре
Беляева А.И.1, Галуза А.А.1, Коломиец С.Н.1
1Национальный технический университет "Харьковский политехнический институт", Харьков, Украина
Поступила в редакцию: 4 декабря 2003 г.
Выставление онлайн: 20 августа 2004 г.

Приведены результаты спектральных эллипсометрических исследований сложной многослойной системы <подложка Si>-<слой SiO2>-<слой поликристаллического Si>. Предложена методика анализа многослойной структуры, основанная на сильной зависимости экспериментальных данных спектральной эллипсометрии от глубины проникновения зондирующего излучения при различных длинах волн видимого диапазона. Определена реальная структура системы и параметры слоев. Обработка эллипсометрических данных дала возможность обнаружить естественный шероховатый поверхностный окисный слой SiO2, а также переходный слой на границе раздела <слой поликристаллического Si>-<слой естественного окисла>, определены их состав и толщина. Показано, что осажденный слой Si представляет собой смесь кристаллической и аморфной фаз, найдено их процентное содержание.
  • T.I. Kamins. Polycrystalline Silicon for Integrated Circuit Applications (Boston, Academic Publishers, 1988)
  • C. Zhoa, P.R. Lefevre, E.A. Irene. Thin Sol. Films, 313--314, 286 (1998)
  • В.И. Гавриленко, А.М. Грехов, Д.В. Коробутяк, В.Г. Литовченко. Оптические свойства полупроводников (Киев, Наук. думка, 1987) с. 172
  • A. Borghesi, M.E. Giardini, M. Marazzit. Appl. Phys. Lett., 70, 892 (1997)
  • D.A.G. Bruggeman. Ann. Phys., 5, 636 (1935)
  • Р. Аззам, Н. Башара. Эллипсометрия и поляризованный свет (М., Мир, 1981) с. 311
  • O.W. Holland, B.R. Appleton, J. Narayan. J. Appl. Phys., 54, 2295 (1983)
  • A.I. Belyaeva, A.A. Galuza. Advances in Cryogenic Engineering ( Materials), 46A, 435 (2000)
  • G.E. Jellison. Opt. Mater., 1, 41 (1992)
  • G.E. Jellison, M.F. Chisholm, S.M. Gorbatkin. Appl. Phys. Lett., 62, 3348 (1993)
  • Г.С. Ландсберг. Оптика (М., Наука, 1976) с. 563
  • Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.

    Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.