"Физика и техника полупроводников"
Издателям
Вышедшие номера
Определение времени жизни неосновных носителей заряда в слитках кремния по релаксации фотопроводимости, измеренной на сверхвысоких частотах
Бородовский П.А.1, Булдыгин А.Ф.1, Токарев А.С.1
1Институт физики полупроводников Сибирского отделения Российской академии наук, Новосибирск, Россия
Поступила в редакцию: 15 декабря 2003 г.
Выставление онлайн: 21 августа 2004 г.

Предлагается новый метод определения объемного времени жизни неосновных носителей заряда в слитках монокристаллического кремния. Измеренный на сверхвысокой частоте сигнал фотопроводимости, нормированный по его начальному значению, сравнивается с результатами расчета полного числа избыточных носителей заряда N(t)/Nst, где Nst соответствует квазистационарной фотопроводимости. Местоположение точки пересечения кривой релаксации фотопроводимости и зависимости N(t=tau)/Nst определяет объемное время жизни tau=tauv. Измерения проводились на слитках кремния, полученных методом бестигельной зонной плавки и методом Чохральского, с различной величиной удельного электрического сопротивления. Представленные результаты измерений хорошо согласуются с расчетом.
  • Л.П. Павлов. Методы измерения параметров полупроводниковых материалов (М., Высш. шк., 1987) гл. 3, с. 105
  • N.J. Harrick. J. Appl. Phys., 27(12), 1439 (1956)
  • V. Grivickas, J. Linnros, A. Vigelis, J. Seckus, J.A. Tellefsek. Sol. St. Electron., 35, 299 (1992)
  • J. Linnros. J. Appl. Phys., 84, 275 (1998)
  • Д.В. Ахметов, Н.В. Фатеев. ФТП, 35, 40 (2001)
  • A.M. Ramsa, H. Jacobs, F.A. Brand. J. Appl. Phys., 30, 1054 (1959)
  • H.A. Alwater. J. Appl. Phys., 30, 1054 (1959)
  • M. Kunst. G. Beck. J. Appl. Phys., 60, 3558 (1986); J. Appl. Phys., 63, 1093 (1988)
  • A. Sanders, M. Kunst. Sol. St. Electron., 34, 1007 (1991)
  • C. Swiatkowski, A. Sanders, K.-D. Buhre, M. Kunst. J. Appl. Phys., 78, 1763f (1995)
  • M. Schofthaler, R. Brendel. J. Appl. Phys., 77, 3162 (1995)
  • J. Schmidt, A.G. Aberle. J. Appl. Phys., 81, 6187 (1995)
  • П.А. Бородовский, А.Ф. Булдыгин, А.С. Токарев. Автометрия, N 6, 43 (2000)
  • M.S. Tyagi, J.F. Nus. Sol. St. Electron., 25, 411 (1982)
  • В.Е. Лашкарев, Э.И. Рашба, В.А. Романов, З.А. Демиденко. ЖТФ, 28, 1853 (1958)
  • K. Misiakos, F.A. Lindholm, A. Neugroshel. J. Appl. Phys., 58(4), 1647 (1985)
  • Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.

    Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.