"Физика и техника полупроводников"
Издателям
Вышедшие номера
Исследование структурного совершенства эпитаксиальных слоев CdxHg1-xTe / CdZnTe методом комбинационного рассеяния света
Белогорохов А.И.1, Денисов И.А.1, Смирнова Н.А.1, Белогорохова Л.И.1
1ГНЦ РФ "Гиредмет", Москва, Россия
Поступила в редакцию: 21 апреля 2003 г.
Выставление онлайн: 20 декабря 2003 г.

Подробно обсуждаются результаты исследований профиля распределения и характера изменения интенсивности решеточных колебаний, инициированных структурными дефектами различной природы, по глубине слоя в эпитаксиальных структурах CdxHg1-xTe / CdZnTe. Экспериментальные результаты получены с помощью метода комбинационного рассеяния света в микрорежиме по сколу образца, сделанному перпендикулярно грани [111] непосредственно перед проведением измерений. Особое внимание уделяется вопросу о возможности получения информации о присутствии структурных дефектов в катионной подрешетке и преципитатов теллура в эпитаксиальных слоях CdxHg1-xTe.
  • M.S. Kwon, J.Y. Lee. J. Cryst. Growth, 191, 51 (1998)
  • N.V. Sochinskii, M.D. Serrano, E. Dieguez, F. Agullo-Rueda, U. Pal, J. Piqueras, P. Fernandez. J. Appl. Phys., 77, 2806 (1995)
  • Травление полупроводников, пер. с англ. под ред. С.Н. Горина (М., Мир, 1965)
  • S.H. Shin, J. Bajaj, L.A. Moudy, D.T. Cheung. Appl. Phys. Lett., 43, 68 (1983)
  • А.И. Белогорохов, В.М. Лакеенков, Л.И. Белогорохова. ФТП, 35, 808 (2001)
  • J. Zhu, X. Zhang, B. Li, J. Chu. Infr. Phys. Technol., 40, 411 (1999)
  • I. Hill. J. Appl. Phys., 67, 4270 (1990)
  • Shyama Rath, K.P. Jain, S.C. Abbi, C. Julien, M. Balkanski. Phys. Rev. B, 52, 17 172 (1995)
  • D.N. Talwar, M. Vandevyver. J. Appl. Phys., 56, 1801 (1984)
  • P.M. Amirtharaj, N.K. Dhar, J. Baars, H. Seelewind. Semicond. Sci. Technol., 5, S68 (1990)
  • P.M. Amirtharaj, K.K. Tiong, P. Parayanthal, F.H. Pollack. J. Vac. Sci. Technol. A, 1 1744 (1983)
  • W. Richter, J.B. Renucci, M. Cardona. Phys. St. Sol. B, 56, 223 (1973)
  • R.D. Yadava, R.K. Bagai, W.N. Borle. J. Electron. Mater., 21, 1001 (1992)
  • A. Polian, R. Le Toullec, M. Balkanski. Phys. Rev. B, 13, 3558 (1976)
  • S.C. Shen, J.H. Chu. Sol. St. Commun., 48, 1017 (1983)
  • A. Ksendzov, F.H. Pollak, P.M. Amirtharaj, J.A. Wilson. Semicond. Sci. Technol., 5, S78 (1990)
  • K.K. Tiong, P.M. Amirtharaj, P. Parayanthal, F.H. Pollaсk. Sol. St. Commun., 50, 891 (1984)
  • Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.

    Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.