Физика и техника полупроводников
Авторам
Вышедшие номера
- 2024
- 2023
- 2022
- 2021
- 2020
- 2019
- 2018
- 2017
- 2016
- 2015
- 2014
- 2013
- 2012
- 2011
- 2010
- 2009
- 2008
- 2007
- 2006
- 2005
- 2004
- 2003
- 2002
- 2001
- 2000
- 1999
- 1998
- 1997
- 1996
- 1995
- 1994
- 1993
- 1992
- 1991
- 1990
- 1989
- 1988
Влияние моновакансий на ширину террас при сублимации с поверхности (111) алмазоподобного кристалла
Зверев А.В.1, Неизвестный И.Г.1, Шварц Н.Л.1, Яновицкая З.Ш.1
1Институт физики полупроводников им. А.В. Ржанова Сибирского отделения Российской академии наук, Новосибирск, Россия 
Поступила в редакцию: 26 сентября 2002 г.
Выставление онлайн: 20 мая 2003 г.
С помощью трехмерной модели Монте-Карло исследовалось влияние моновакансий на диффузионный обмен между ступенями на поверхности (111) алмазоподобного кристалла в процессе сублимации. Определялась критическая ширина террас Lcr (расстояние от края ступени до ближайших устойчивых вакансионных островков) в зависимости от соотношения энергий образования адатома на гладкой террасе En и десорбции адатома с террасы Ed при сохранении суммы этих энергий Esub=En+Ed, которая характеризует сублимацию вещества. На полученных зависимостях Lcr(En) имеется четко выраженный максимум. Предложена формула, хорошо описывающая зависимости Lcr(En) при различных величинах Esub. Экстраполяция зависимости Lcr(En) для значения Esub=4.2 эВ, характерного для кремния, позволила провести сравнение модельных результатов с экспериментальными данными других авторов. Предложено объяснение трехкратного увеличения ширины террас, наблюдаемое экспериментально в области температур 1500 K.
- C. Alfonso, J.C. Heyraud, J.J. Metois. Surf. Sci. Lett., 291, L745 (1993)
- J.M. Bermond, J.J. Metois, J.C. Heyraud, C. Alfonso. Surf. Sci., 331--333, 855 (1995)
- J.J. Metois, D.E. Wolf. Surf. Sci., 298, 71 (1993)
- Y. Homma, H. Hibino, T. Ogino, N. Aizava. Phys. Rev. B, 55, R10237 (1997-II)
- Y. Homma, H. Hibino, T. Ogino, N. Aizava. Phys. Rev. B, 58, 13 146 (1998)
- P. Finnie, Y. Homma. Phys. Rev. Lett., 82, 2737 (1999)
- С.С. Косолобов, А.В. Прозоров, А.В. Латышев, А.Л. Асеев. Тез. докл. конф. Совещание по росту кристаллов, пленок и дефектам структуры кремния" (Новосибирск, 9--12 июля 2002) с. 132
- A. Pimpinelli, J. Villain. Physica A, 204, 521 (1994)
- A.V. Latyshev, A.B. Krasilnikov, A.L. Aseev. Surf. Sci., 311, 395 (1994)
- A.V. Latyshev, A.B. Krasilnikov, A.L. Aseev. Appl. Surf. Sci., 60 / 61, 397 (1994)
- A.V. Latyshev, H. Minoda, Y. Tanishiro, K. Yagi. Phys. Rev. Lett., 76, 94 (1996)
- K. Thurmer, D.-J. Liu, E.D. Williams, J.D. Weeks. Phys. Rev. Lett., 83, 5531 (1999)
- J.J. Metois, J.C. Heyraud, S. Stoyanov. Surf. Sci., 486, 95 (2001)
- T. Sinno, R.A. Brown, W. Ammon, E. Dornberger. J. Electrochem. Soc., 145, 302 (1998)
- J.A. Venables, G.D. T. Spiller, M. Handbucken. Rep. Progr. Phys., 47, 399 (1984)
- A.J. Mayne, F. Rose, C. Bolis, G. Dujardin. Surf. Sci., 486, 226 (2001)
- Yu.N. Devyatko, S.V. Rogozhkin, A.V. Fadeev. Phys. Rev. B, 64, 193 401 (2001)
- I.G. Neizvestny, N.L. Shwartz, Z.Sh. Yanovitskaja, A.V. Zverev. Thin Sol. Films, 380, 61 (2000)
- W.S. Verwoed, V. Nolting, P. Badziag. Surf. Sci., 241, 135 (1991)
- W. Shimada, H. Tochihara, T. Sato, M. Iwatsuki. Jap. J. Appl. Phys., 39, 4408 (2000)
- Y. Fukaya, Y. Shigeta. Phys. Rev. Lett., 85, 5150 (2000)
- Y. Fukaya, Y. Shigeta. Phys. Rev. B, 65, 195 415 (2002)
- K. Sumitomo, H. Hibino, Y. Homma, T. Ogino. Jap. J. Appl. Phys., 39, 4421 (2000)
Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.
Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.
