Вышедшие номера
Home » Физика и техника полупроводников » Год 2003, выпуск 6 » Статья стр. 674
<<<>>>
Влияние моновакансий на ширину террас при сублимации с поверхности (111) алмазоподобного кристалла
Зверев А.В.1, Неизвестный И.Г.1, Шварц Н.Л.1, Яновицкая З.Ш.1
1Институт физики полупроводников им. А.В. Ржанова Сибирского отделения Российской академии наук, Новосибирск, Россия
Поступила в редакцию: 26 сентября 2002 г.
Выставление онлайн: 20 мая 2003 г.
PDF версия
С помощью трехмерной модели Монте-Карло исследовалось влияние моновакансий на диффузионный обмен между ступенями на поверхности (111) алмазоподобного кристалла в процессе сублимации. Определялась критическая ширина террас Lcr (расстояние от края ступени до ближайших устойчивых вакансионных островков) в зависимости от соотношения энергий образования адатома на гладкой террасе En и десорбции адатома с террасы Ed при сохранении суммы этих энергий Esub=En+Ed, которая характеризует сублимацию вещества. На полученных зависимостях Lcr(En) имеется четко выраженный максимум. Предложена формула, хорошо описывающая зависимости Lcr(En) при различных величинах Esub. Экстраполяция зависимости Lcr(En) для значения Esub=4.2 эВ, характерного для кремния, позволила провести сравнение модельных результатов с экспериментальными данными других авторов. Предложено объяснение трехкратного увеличения ширины террас, наблюдаемое экспериментально в области температур 1500 K.
  1. C. Alfonso, J.C. Heyraud, J.J. Metois. Surf. Sci. Lett., 291, L745 (1993)
  2. J.M. Bermond, J.J. Metois, J.C. Heyraud, C. Alfonso. Surf. Sci., 331--333, 855 (1995)
  3. J.J. Metois, D.E. Wolf. Surf. Sci., 298, 71 (1993)
  4. Y. Homma, H. Hibino, T. Ogino, N. Aizava. Phys. Rev. B, 55, R10237 (1997-II)
  5. Y. Homma, H. Hibino, T. Ogino, N. Aizava. Phys. Rev. B, 58, 13 146 (1998)
  6. P. Finnie, Y. Homma. Phys. Rev. Lett., 82, 2737 (1999)
  7. С.С. Косолобов, А.В. Прозоров, А.В. Латышев, А.Л. Асеев. Тез. докл. конф. Совещание по росту кристаллов, пленок и дефектам структуры кремния" (Новосибирск, 9--12 июля 2002) с. 132
  8. A. Pimpinelli, J. Villain. Physica A, 204, 521 (1994)
  9. A.V. Latyshev, A.B. Krasilnikov, A.L. Aseev. Surf. Sci., 311, 395 (1994)
  10. A.V. Latyshev, A.B. Krasilnikov, A.L. Aseev. Appl. Surf. Sci., 60 / 61, 397 (1994)
  11. A.V. Latyshev, H. Minoda, Y. Tanishiro, K. Yagi. Phys. Rev. Lett., 76, 94 (1996)
  12. K. Thurmer, D.-J. Liu, E.D. Williams, J.D. Weeks. Phys. Rev. Lett., 83, 5531 (1999)
  13. J.J. Metois, J.C. Heyraud, S. Stoyanov. Surf. Sci., 486, 95 (2001)
  14. T. Sinno, R.A. Brown, W. Ammon, E. Dornberger. J. Electrochem. Soc., 145, 302 (1998)
  15. J.A. Venables, G.D. T. Spiller, M. Handbucken. Rep. Progr. Phys., 47, 399 (1984)
  16. A.J. Mayne, F. Rose, C. Bolis, G. Dujardin. Surf. Sci., 486, 226 (2001)
  17. Yu.N. Devyatko, S.V. Rogozhkin, A.V. Fadeev. Phys. Rev. B, 64, 193 401 (2001)
  18. I.G. Neizvestny, N.L. Shwartz, Z.Sh. Yanovitskaja, A.V. Zverev. Thin Sol. Films, 380, 61 (2000)
  19. W.S. Verwoed, V. Nolting, P. Badziag. Surf. Sci., 241, 135 (1991)
  20. W. Shimada, H. Tochihara, T. Sato, M. Iwatsuki. Jap. J. Appl. Phys., 39, 4408 (2000)
  21. Y. Fukaya, Y. Shigeta. Phys. Rev. Lett., 85, 5150 (2000)
  22. Y. Fukaya, Y. Shigeta. Phys. Rev. B, 65, 195 415 (2002)
  23. K. Sumitomo, H. Hibino, Y. Homma, T. Ogino. Jap. J. Appl. Phys., 39, 4421 (2000)

Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.

Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.

Учредители

Издатель

© 2024 Физико-технический институт им. А.Ф. Иоффе Российской академии наук
Powered by webapplicationthemes.com - High quality HTML Theme