"Физика и техника полупроводников"
Вышедшие номера
Спектральная зависимость фотопроводимости варизонных структур типа GexSi1-x, полученных диффузионной технологией
Зикриллаев Н.Ф. 1, Ковешников С.В.1, Исамов С.Б. 1, Абдурахманов Б.А.1, Кушиев Г.А.1
1Ташкентский государственный технический университет, Ташкент, Узбекистан
Email: gkushiyev@inbox.ru, isamov.sb@gmail.com
Поступила в редакцию: 22 декабря 2021 г.
В окончательной редакции: 19 января 2022 г.
Принята к печати: 19 января 2022 г.
Выставление онлайн: 2 марта 2022 г.

Путем диффузионного легирования кремния германием была получена варизонная структура типа GexSi1-x. Элементный анализ поверхности образцов показал, что концентрация кремния (в атомных процентах) составляла 64.5%, германия - 26.9%, кислорода - 5.9%, других элементов - 2.7%. На спектральной зависимости фотопроводимости заметный рост фототока начинается при hν=0.75-0.8 эВ, что примерно соответствует ширине запрещенной зоны материала Ge0.27Si0.73. Разработка диффузионной технологии получения варизонных структур GеxSi1-x позволит разработать фотоприемники с расширенной областью спектральной чувствительности. Ключевые слова: варизонная структура, диффузия, фотопроводимость, кремний, германий.
  1. E.R. Johnson, S.M. Christian. Phys. Rev., 95 (2), 560 (1954)
  2. М.К. Бахадырханов, Б.А. Абдурахмонов, Х.Ф. Зикриллаев. Приборы, 215 (5), 39 (2018)
  3. В.Г. Кеслер, Л.М. Логвинский, В.И Машанов, О.П. Пчеляков, В.В. Ульянов. ФТТ, 44 (4), 90 (2002)
  4. М.К. Бахадырханов, Г.Х. Мавлянов, С.Б. Исамов, Х.М. Илиев, К.С. Аюпов, З.М. Сапарниязова, С.А. Тачилин. Неорг. матер., 47 (3), 545 (2011)
  5. И.Г.Атабаев, Н.А. Матчанов, Э.Н. Бахранов. ФТТ, 43 (12), 2140 (2001)
  6. M. Ogino, Y. Oana, M. Watanabe. Phys. Status Solidi A, 72, 535 (1982)
  7. Б.И. Иванов, M. Grajcar, И.Л. Новиков, А.Г. Вострецов, E. Ильичев. Письма ЖТФ, 42 (7), 90 (2016)
  8. М.В. Шалеев, П.А. Юнин, Д.В. Юрасов, З.Ф. Красильник. ФТП, 49 (8),1129 (2015)
  9. Stesmans, T. Nguyen Hoang, V.V. Afanas'ev. J. Appl. Phys., 116 (44), 501 (2014)
  10. И.Е. Тысченко, Р.А. Хмельницкий, В.В. Сарайкин, В.А. Володин, В.П. Попов. ФТП, 56 (2), 192 (2022)
  11. Ю.Н. Пархоменко, А.И. Белогорохов, Н.Н. Герасименко А.В. Иржак, М.Г. Лисаченко. ФТП, 38 (5), 593 (2004)
  12. А.С. Саидов, А. Кутлимуратов, Б. Сапаев, У.Т. Давлатов. Письма ЖТФ, 27 (8), 265 (2001)
  13. А.Е. Калядин, Н.А. Соболев, А.М. Стрельчук, П.Н. Аруев, В.В. Забродский, Е.И. Шеек. ФТП, 50 (2), 250 (2016)
  14. Н.А. Байдакова, В.А. Вербус, Е.Е. Морозова, А.В. Новиков, Е.В. Скороходов, М.В. Шалеев, Д.В. Юрасов, A. Hombe, Y. Kurokawa, N. Usami. ФТП, 51 (12), 1599 (2017)
  15. М.К. Бахадирханов, Н.Ф. Зикриллаев, С.Б. Исамов, Х.С. Турекеев, С.А. Валиев. ФТП, 56 (2), 199 (2022)
  16. G. Kissingearn, H.G. Grimmeiss. Phys. Status Solidi A, 145, K5 (1994)
  17. Ю.В. Помозов, М.Г. Соснин, Л.И. Хируненко, В.И. Яшник, Н.В. Абросимов, В. Шрёдер, М. Хёне. ФТП, 34 (9), 1030 (2000)
  18. А.А. Ежевский, П.Г. Сенников, Д.В. Гусейнов, А.В. Сухоруков, Е.А. Калинина, Н.В. Абросимов. ФТП, 54 (9), 933 (2020)

Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.

Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.